SiC 코팅그래파이트 하프문 부품반도체 제조 공정, 특히 SiC 에피택시 장비에 사용되는 핵심 부품입니다.우리는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 탁월한 서비스 수명은 물론 높은 내화학성과 열 안정성 특성을 갖춘 반달 부품을 만듭니다.
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