실리콘 카바이드 코팅이 적용된 흑연 서셉터, 8인치 웨이퍼 캐리어

간단한 설명:

Semicera Energy는 다양한 에피택시 반응기를 위해 설계된 광범위한 서셉터 및 흑연 구성 요소를 제공합니다.

업계 최고의 OEM과의 전략적 파트너십, 광범위한 재료 전문 지식 및 고급 제조 역량을 통해 Weitai는 귀하의 응용 분야의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 설계를 제공합니다. 우수성에 대한 우리의 약속은 귀하가 에피택시 반응기 요구 사항에 맞는 최적의 솔루션을 받을 수 있도록 보장합니다.


제품 세부정보

제품 태그

설명

CVD-SiC 코팅균일한 구조, 치밀한 재료, 고온 저항, 내산화성, 고순도, 산 및 알칼리 저항 및 유기 시약의 특성을 가지며 안정적인 물리적, 화학적 특성을 가지고 있습니다.
 
고순도 흑연재료에 비해 흑연은 400℃부터 산화되기 시작하여 산화로 인한 분말의 손실을 초래하여 주변기기 및 진공챔버에 환경오염을 초래하고 고순도 환경의 불순물을 증가시킵니다.
하지만,SiC 코팅1600도에서도 물리적, 화학적 안정성을 유지할 수 있으며 현대 산업, 특히 반도체 산업에서 널리 사용됩니다.

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주요 특징

1. 고순도 SiC 코팅 흑연

2. 우수한 내열성 및 열균일성

3. 벌금SiC 크리스탈 코팅매끄러운 표면을 위해

4. 화학적 세척에 대한 내구성이 뛰어납니다.

 

CVD-SIC 코팅의 주요 사양:

SiC-CVD
밀도 (g/cc) 3.21
굴곡강도 (MPa) 470
열팽창 (10-6/K) 4
열전도율 (W/mK) 300

포장 및 배송

공급 능력:
달 당 10000 조각/조각
포장 및 배송:
포장:표준 및 강력한 포장
많은 부대 + 상자 + 판지 + 깔판
포트:
닝보/심천/상하이
리드타임:

수량(개) 1 – 1000 >1000
예상 시간(일) 30 협상 예정
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
세미세라웨어하우스
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