실리콘 카바이드 코팅이 적용된 흑연 서셉터, 웨이퍼 캐리어

간단한 설명:

Semicera는 다양한 에피택시 반응기를 위해 설계된 광범위한 서셉터 및 흑연 구성 요소를 제공합니다.

업계 최고의 OEM과의 전략적 파트너십, 광범위한 재료 전문 지식 및 고급 제조 기능을 통해 Semicera는 응용 분야의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 설계를 제공합니다.우수성에 대한 우리의 약속은 귀하가 에피택시 반응기 요구 사항에 맞는 최적의 솔루션을 받을 수 있도록 보장합니다.

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제품 상세 정보

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설명

CVD-SiC 코팅은 균일한 구조, 치밀한 재료, 고온 저항성, 내산화성, 고순도, 산 및 알칼리 저항성 및 유기 시약의 특성을 가지며 안정적인 물리적, 화학적 특성을 가지고 있습니다.
고순도 흑연재료에 비해 흑연은 400℃부터 산화되기 시작하여 산화로 인한 분말의 손실을 초래하여 주변기기 및 진공챔버에 환경오염을 초래하고 고순도 환경의 불순물을 증가시킵니다.
그러나 SiC 코팅은 1600도에서도 물리적, 화학적 안정성을 유지할 수 있어 현대 산업, 특히 반도체 산업에서 널리 사용되고 있습니다.

FDVCDV

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당사는 흑연, 세라믹 및 기타 소재의 표면에 CVD 방식으로 SiC 코팅 공정 서비스를 제공하고 있으며, 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도의 SiC 분자, 코팅된 소재의 표면에 증착된 분자, SIC 보호층을 형성한다.형성된 SIC는 흑연 베이스에 단단히 결합되어 흑연 베이스에 특별한 특성을 부여하여 흑연 표면을 콤팩트하고 다공성이 없으며 고온 저항, 내식성 및 내산화성을 만듭니다.