실리콘 카바이드 코팅 배럴 트레이가 포함된 흑연 서셉터

간단한 설명:

Semicera는 다양한 에피택시 반응기를 위해 설계된 광범위한 서셉터 및 흑연 구성 요소를 제공합니다.

업계 최고의 OEM과의 전략적 파트너십, 광범위한 재료 전문 지식 및 고급 제조 기능을 통해 Semicera는 응용 분야의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 설계를 제공합니다. 우수성에 대한 우리의 약속은 귀하가 에피택시 반응기 요구 사항에 맞는 최적의 솔루션을 받을 수 있도록 보장합니다.

 

 


제품 세부정보

제품 태그

설명

당사는 흑연, 세라믹 및 기타 소재의 표면에 CVD 공법으로 SiC 코팅 공정 서비스를 제공하고 있으며, 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도의 SiC 분자, 코팅된 소재의 표면에 증착된 분자, SIC 보호층을 형성한다.

(1)에 대해

(2)에 대해

주요 특징

1. 고순도 SiC 코팅 흑연

2. 우수한 내열성 및 열균일성

3. 매끄러운 표면을 위해 미세한 SiC 크리스탈 코팅

4. 화학적 세척에 대한 내구성이 뛰어납니다.

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성
결정 구조 FCC β상
밀도 g/cm ³ 3.21
경도 비커스 경도 2500
입자 크기 μm 2~10
화학적 순도 % 99.99995
열용량 J·kg-1·K-1 640
승화 온도 2700
굽힘 강도 MPa(RT 4점) 415
영률 Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) 430
열팽창(CTE) 10-6K-1 4.5
열전도율 (W/mK) 300
사진 3
사진 1
사진 2
사진 4
사진 5
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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