MOCVD 기판용 발열체

간단한 설명:

세미세라에너지기술(주) 첨단 반도체 세라믹의 선두 공급업체이자 고순도 탄화규소 세라믹(특히재결정화됨 SiC) 및 CVD SiC 코팅.이 밖에도 알루미나, 질화알루미늄, 지르코니아, 질화규소 등 세라믹 분야에도 주력하고 있다.

 

제품 상세 정보

제품 태그

흑연 히터의 주요 특징:

1. 가열 구조의 균일성.

2. 좋은 전기 전도성과 높은 전기 부하.

3. 내식성.

4. 산화되지 않음.

5. 높은 화학적 순도.

6. 기계적 강도가 높다.

장점은 에너지 효율적이고 가치가 높으며 유지 관리가 적다는 것입니다.항산화 및 장수명 흑연도가니, 흑연금형, 흑연히터의 모든 부품을 생산할 수 있습니다.

MOCVD-기판-히터-가열 요소-For-MOCVD3-300x300

흑연 히터의 주요 매개 변수

기술 사양

세미세라-M3

부피밀도(g/cm3)

≥1.85

회분 함량(PPM)

≤500

해안 경도

≥45

비저항(μ.Ω.m)

≤12

굴곡강도(Mpa)

≥40

압축강도(Mpa)

≥70

최대.입자 크기(μm)

≤43

열팽창 계수 Mm/°C

≤4.4*10-6

MOCVD 기판히터_ MOCVD용 발열체
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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