반도체용 실리콘 카바이드 RTA 캐리어 플레이트

간단한 설명:

탄화 규소는 높은 비용 성능과 우수한 재료 특성을 갖춘 새로운 유형의 세라믹입니다. 높은 강도와 ​​경도, 고온 저항성, 우수한 열 전도성 및 화학적 내식성과 같은 기능으로 인해 탄화규소는 거의 모든 화학적 매체를 견딜 수 있습니다. 따라서 SiC는 석유 채굴, 화학, 기계 및 영공 분야에서 널리 사용되며 심지어 원자력 에너지 및 군대에서도 SIC에 대한 특별한 요구 사항이 있습니다. 우리가 제공할 수 있는 일반적인 용도로는 펌프, 밸브, 보호 갑옷 등을 위한 씰 링이 있습니다.

우리는 좋은 품질과 합리적인 배송 시간으로 귀하의 특정 치수에 따라 설계하고 제조할 수 있습니다.


제품 세부정보

제품 태그

설명

당사는 흑연, 세라믹 및 기타 소재의 표면에 CVD 공법으로 SiC 코팅 공정 서비스를 제공하고 있으며, 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도의 SiC 분자, 코팅된 소재의 표면에 증착된 분자, SIC 보호층을 형성한다.

주요 특징

1. 고열 산화 저항:
산화 저항은 온도가 1600C만큼 높을 때 여전히 매우 좋습니다.
2. 고순도 : 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
3. 내식성: 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
4. 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조 FCC β상
밀도 g/cm ³ 3.21
경도 비커스 경도 2500
입자 크기 μm 2~10
화학적 순도 % 99.99995
열용량 J·kg-1·K-1 640
승화 온도 2700
굽힘 강도 MPa(RT 4점) 415
영률 Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) 430
열팽창(CTE) 10-6K-1 4.5
열전도율 (W/mK) 300
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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