반도체 산업의 웨이퍼 처리 응용 분야를 위해 세심하게 설계된 최첨단 실리콘 카바이드 수평 보트 플레이트를 소개합니다.최고급 탄화규소로 제작된 수평 보트 플레이트는 뛰어난 열적 특성, 내화학성 및 기계적 강도가 돋보입니다.고온 공정에 이상적인 이 보트 플레이트는 탁월한 성능을 제공하도록 설계되어 모든 용도에서 정밀도와 효율성을 보장합니다.
뛰어난 내구성:고순도 탄화규소로 제작된 당사의 보트 플레이트극한의 온도를 견딜 수 있도록 설계되었습니다.1600°C로 비교할 수 없는 내구성과 수명을 제공합니다.
균일한 열 분포:탄화규소의 열 전도성은 플레이트 전체에 균일한 열 분포를 보장하며, 이는 공정 일관성을 유지하고 고품질 웨이퍼 생산을 달성하는 데 중요합니다.
화학적 내성:부식성 화학물질과 열악한 환경에 강한 당사의 보트 플레이트는 가장 까다로운 반도체 처리 응용 분야에서도 무결성과 성능을 유지합니다.
높은 기계적 강도:우리의 견고한 구조보트 플레이트우수한 기계적 강도와 내마모성을 보장하여 손상 위험과 빈번한 교체 필요성을 줄입니다.
신청:
우리의실리콘 카바이드 수평 보트 플레이트확산, 산화, 이온 주입 및 CVD 공정을 포함하되 이에 국한되지 않는 반도체 제조의 광범위한 고온 공정에 적합합니다..디자인과 재료는 웨이퍼 처리의 정확한 요구 사항을 지원할 수 있도록 보장하여 반도체 생산 라인의 필수 구성 요소입니다.
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