설명
Semicera의 SiC 코팅 흑연 서셉터는 고급 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 탄화 규소(SiC)로 꼼꼼하게 코팅된 고품질 흑연 기판을 사용하여 설계되었습니다. 이 혁신적인 설계는 열충격 및 화학적 분해에 대한 뛰어난 저항성을 보장하여 SiC 코팅 흑연 서셉터의 수명을 크게 연장하고 반도체 제조 공정 전반에 걸쳐 안정적인 성능을 보장합니다.
주요 특징:
1. 우수한 열전도율SiC 코팅 흑연 서셉터는 탁월한 열 전도성을 나타내며 이는 반도체 제조 중 효율적인 열 방출에 중요합니다. 이 기능은 웨이퍼 표면의 열 구배를 최소화하여 원하는 반도체 특성을 달성하는 데 필수적인 균일한 온도 분포를 촉진합니다.
2. 견고한 내화학성 및 열충격성SiC 코팅은 화학적 부식과 열충격에 대한 강력한 보호 기능을 제공하여 열악한 처리 환경에서도 흑연 서셉터의 무결성을 유지합니다. 이렇게 강화된 내구성은 다운타임을 줄이고 수명을 연장시켜 반도체 제조 시설의 생산성 향상과 비용 효율성 향상에 기여합니다.
3. 특정 요구에 따른 맞춤화당사의 SiC 코팅 흑연 서셉터는 특정 요구 사항과 선호 사항을 충족하도록 맞춤화될 수 있습니다. 당사는 다양한 응용 분야 및 공정 매개변수에 대한 설계 유연성과 최적화된 성능을 보장하기 위해 크기 조정 및 코팅 두께의 변화를 포함한 다양한 맞춤 옵션을 제공합니다.
신청:
응용 분야Semicera SiC 코팅은 다음을 포함하여 반도체 제조의 다양한 단계에서 활용됩니다.
1. -LED 칩 제작
2. -폴리실리콘 생산
3. -반도체 결정 성장
4. - 실리콘 및 SiC 에피택시
5. -열산화 및 확산(TO&D)
기술 사양:
