반도체 SiC 코팅 단결정 실리콘 에피텍셜 디스크

간단한 설명:

Semicera Energy Technology Co., Ltd.는 웨이퍼 및 첨단 반도체 소모품 전문 공급업체입니다.우리는 반도체 제조에 고품질, 신뢰성, 혁신적인 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.광전지 산업및 기타 관련 분야.

당사의 제품군에는 탄화규소, 질화규소, 산화알루미늄 등 다양한 소재를 포함하는 SiC/TaC 코팅 흑연 제품과 세라믹 제품이 포함됩니다.

신뢰할 수 있는 공급업체로서 당사는 제조 공정에서 소모품의 중요성을 이해하고 있으며 고객의 요구를 충족하기 위해 최고 품질 표준을 충족하는 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

 

 

제품 상세 정보

제품 태그

설명

우리 회사는SiC 코팅흑연, 세라믹 및 기타 재료의 표면에 CVD 방법을 사용하여 탄소 및 규소를 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도 SiC 분자, 코팅된 재료 표면에 증착된 분자를 형성하는 공정 서비스입니다.SIC 보호층.

 
단결정 실리콘 에피텍셜 시트
PSS 에칭 캐리어 (3)

주요 특징

1. 고열 산화 저항:
산화 저항은 온도가 1600C만큼 높을 때 여전히 매우 좋습니다.
2. 고순도 : 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
3. 내식성: 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
4. 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성
결정 구조 FCC β상
밀도 g/cm ³ 3.21
경도 비커스 경도 2500
입자 크기 μm 2~10
화학적 순도 % 99.99995
열용량 J·kg-1·K-1 640
승화 온도 2700
굽힘 강도 MPa(RT 4점) 415
영률 Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) 430
열팽창(CTE) 10-6K-1 4.5
열 전도성 (W/mK) 300
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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