반도체 식각용 SiC 코팅 캐리어

간단한 설명:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd.는 첨단 반도체 세라믹 분야의 선도적인 공급업체입니다. 당사의 주요 제품은 다음과 같습니다: 실리콘 카바이드 에칭 디스크, 실리콘 카바이드 보트 트레일러, 실리콘 카바이드 웨이퍼 선박(PV 및 반도체), 실리콘 카바이드 퍼니스 튜브, 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들, 실리콘 카바이드 척, 실리콘 카바이드 빔, CVD SiC 코팅 및 TaC 코팅.

제품은 주로 결정 성장, 에피택시, 에칭, 패키징, 코팅 및 확산로 장비와 같은 반도체 및 광전지 산업에 사용됩니다.

 

 


제품 세부정보

제품 태그

설명

당사는 흑연, 세라믹 및 기타 소재의 표면에 CVD 공법으로 SiC 코팅 공정 서비스를 제공하고 있으며, 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도의 SiC 분자, 코팅된 소재의 표면에 증착된 분자, SIC 보호층을 형성한다.

주요 특징

1. 고열 산화 저항:
산화 저항은 온도가 1600C만큼 높을 때 여전히 매우 좋습니다.
2. 고순도 : 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
3. 내식성: 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
4. 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성

결정 구조 FCC β상
밀도 g/cm ³ 3.21
경도 비커스 경도 2500
입자 크기 μm 2~10
화학적 순도 % 99.99995
열용량 J·kg-1·K-1 640
승화 온도 2700
굽힘 강도 MPa(RT 4점) 415
영률 Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) 430
열팽창(CTE) 10-6K-1 4.5
열전도율 (W/mK) 300
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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