오늘날 전자 기술 분야에서 반도체 재료는 중요한 역할을 합니다.그 중에서, 넓은 밴드갭 반도체 소재인 탄화규소(SiC)는 높은 항복 전기장, 높은 포화 속도, 높은 열 전도성 등과 같은 우수한 성능 이점을 갖고 있어 점차 연구자들과 엔지니어들의 초점이 되고 있습니다.실리콘 카바이드 에피택시 디스크는 중요한 부분으로서 큰 응용 가능성을 보여주었습니다.
一、에피택시 디스크 성능: 모든 장점
1. 초고파괴 전기장: 기존 실리콘 재료와 비교하여 탄화규소의 항복 전기장은 10배 이상입니다.이는 동일한 전압 조건에서 탄화규소 에피택시 디스크를 사용하는 전자 장치가 더 높은 전류를 견딜 수 있어 고전압, 고주파, 고전력 전자 장치를 만들 수 있음을 의미합니다.
2. 고속 포화 속도: 탄화규소의 포화 속도는 실리콘의 포화 속도의 2배 이상입니다.고온 및 고속에서 작동하는 탄화규소 에피택시 디스크의 성능이 향상되어 전자 장치의 안정성과 신뢰성이 크게 향상됩니다.
3. 고효율 열전도율: 탄화규소의 열전도율은 실리콘의 3배 이상입니다.이 기능을 사용하면 전자 장치가 지속적인 고전력 작동 중에 열을 더 잘 발산할 수 있으므로 과열을 방지하고 장치 안전성이 향상됩니다.
4. 우수한 화학적 안정성 : 고온, 고압 및 강한 방사선과 같은 극한 환경에서 탄화 규소의 성능은 이전과 같이 여전히 안정적입니다.이 기능을 통해 실리콘 카바이드 에피택셜 디스크는 복잡한 환경에서도 탁월한 성능을 유지할 수 있습니다.
2, 제조 공정: 신중하게 조각
SIC 에피택셜 디스크를 제조하는 주요 공정에는 PVD(물리적 기상 증착), CVD(화학 기상 증착) 및 에피택시 성장이 포함됩니다.이러한 각 프로세스에는 고유한 특성이 있으며 최상의 결과를 얻으려면 다양한 매개변수를 정밀하게 제어해야 합니다.
1. PVD 공정: 증발 또는 스퍼터링 및 기타 방법을 통해 SiC 타겟을 기판에 증착하여 필름을 형성합니다.이 방법으로 제조된 필름은 순도가 높고 결정성이 양호하지만 생산 속도가 상대적으로 느립니다.
2. CVD 공정: 탄화규소 소스 가스를 고온에서 크래킹하여 기판에 증착하여 박막을 형성합니다.이 방법으로 제조된 필름의 두께와 균일성은 조절이 가능하지만 순도와 결정성이 좋지 않다.
3. 에피택셜 성장: 화학 기상 증착 방법을 통해 단결정 실리콘 또는 기타 단결정 재료에 SiC 에피택셜 층을 성장시킵니다.이 방법으로 제조된 에피택셜 층은 기판 재료와의 정합이 좋고 성능이 우수하지만 비용이 상대적으로 높습니다.
3、응용 전망: 미래를 밝히다
전력 전자 기술의 지속적인 개발과 고성능 및 고신뢰성 전자 장치에 대한 수요가 증가함에 따라 탄화규소 에피택셜 디스크는 반도체 장치 제조에서 폭넓은 응용 가능성을 가지고 있습니다.전력 전자 스위치, 인버터, 정류기 등과 같은 고주파 고전력 반도체 장치의 제조에 널리 사용됩니다. 또한 태양 전지, LED 및 기타 분야에서도 널리 사용됩니다.
고유한 성능 이점과 제조 공정의 지속적인 개선을 통해 탄화규소 에피택셜 디스크는 반도체 분야에서 점차 큰 잠재력을 보여주고 있습니다.우리는 미래의 과학과 기술에서 그것이 더욱 중요한 역할을 할 것이라고 믿을 만한 이유가 있습니다.
게시 시간: 2023년 11월 28일