주요사양CVD-SIC 코팅
SiC-CVD 속성 | ||
결정 구조 | FCC β상 | |
밀도 | g/cm ³ | 3.21 |
경도 | 비커스 경도 | 2500 |
입자 크기 | μm | 2~10 |
화학적 순도 | % | 99.99995 |
열용량 | J·kg-1·K-1 | 640 |
승화 온도 | ℃ | 2700 |
굽힘 강도 | MPa(RT 4점) | 415 |
영률 | Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) | 430 |
열팽창(CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
열전도율 | (W/mK) | 300 |