알루미나(Al2O3) 주요 용도
반도체 제조 장비 부품(캐비티 부품, 절연 플랜지, 에칭 장비 부품, 웨이퍼 클램프);밀 부품(분류기, 에어 플로우 밀, 비드밀);일반 산업용 부품(레이저 가공기 노즐, 회전축, 베어링);고정밀, 정밀, 내열성 금속 공구(포지셔닝 고정 장치, 조립 고정 장치);내마모성 부품(선체 신선기의 가이드 롤러, 강선 채널, 가이드 레일);전기 절연 부품(절연체, 개스킷, 부싱)
특성
알루미나는 백색 또는 유백색 세라믹으로서 우수한 전기절연성을 이용하여 일찍부터 전자부품에 사용되기 시작하였고, 점점 더 많이 사용되고 있으며 정밀세라믹에 있어서 매우 저가의 재료이다.
99.5%, 99.9%의 고순도 제품을 공급하고 있습니다.고순도형 알루미나는 기계적 강도가 높고 내식성이 우수하며 대형 제품 생산이 가능합니다.
또한, 내플라즈마성이 우수하여 CVD 장비나 에칭 장비 부품에도 사용이 가능합니다.