Semicera는 고품질의 커스텀을 선보입니다.실리콘 카바이드 캔틸레버 패들반도체 제조 공정을 향상시키기 위해 제작되었습니다. 혁신적인SiC 패들디자인은 뛰어난 내구성과 높은 열 저항을 보장하므로 까다로운 고온 환경에서 웨이퍼를 처리하는 데 필수적인 구성 요소입니다.
그만큼실리콘 카바이드 패들구조적 무결성을 유지하면서 극한의 열주기를 견딜 수 있도록 제작되어 반도체 생산의 중요한 단계에서 안정적인 웨이퍼 운송을 보장합니다. 우수한 기계적 강도를 지닌 이 제품은웨이퍼 보트웨이퍼 손상 위험을 최소화하여 수율을 높이고 생산 품질을 일관되게 유지합니다.
Semicera SiC 패들의 주요 혁신 중 하나는 맞춤형 설계 옵션에 있습니다. 특정 생산 요구 사항을 충족하도록 맞춤 제작된 패들은 다양한 장비 설정과 통합할 수 있는 유연성을 제공하므로 현대 제조 공정에 이상적인 솔루션입니다. 가볍지만 견고한 구조로 인해 취급이 용이하고 가동 중단 시간이 줄어들어 반도체 생산 효율성이 향상됩니다.
열적, 기계적 특성 외에도실리콘 카바이드 패들우수한 내화학성을 제공하므로 가혹한 화학적 환경에서도 안정적으로 작동할 수 있습니다. 따라서 웨이퍼 보트의 무결성을 유지하는 것이 고품질 출력을 보장하는 데 중요한 에칭, 증착 및 고온 처리와 관련된 공정에 사용하기에 특히 적합합니다.
| 재결정화된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 재산 | 일반적인 값 |
| 작동 온도(°C) | 1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경) |
| SiC 함량 | > 99.96% |
| 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 부피 밀도 | 2.60-2.70g/cm23 |
| 겉보기 다공성 | < 16% |
| 압축 강도 | > 600MPa |
| 냉간 굽힘 강도 | 80-90MPa(20°C) |
| 뜨거운 굽힘 강도 | 90-100MPa(1400°C) |
| 열팽창 @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 열전도도 @1200°C | 23W/m•K |
| 탄성률 | 240GPa |
| 열충격 저항 | 매우 좋음 |
