MOCVD 기판용 발열체

간단한 설명:

Semicera의 MOCVD 기판용 발열체는 MOCVD(금속-유기 화학 기상 증착) 공정에서 정확하고 안정적인 온도 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 고품질 흑연으로 제작된 이 발열체는 탁월한 열 전도성, 균일한 가열 및 장기적인 신뢰성을 제공합니다. 반도체 제조, LED 생산 및 고급 재료 응용 분야에 이상적인 Semicera의 가열 요소는 일관된 성능을 보장하고 최대 효율성과 품질을 위해 MOCVD 기판 공정을 최적화합니다.


제품 세부정보

제품 태그

흑연 히터의 주요 특징:

1. 가열 구조의 균일성.

2. 좋은 전기 전도성과 높은 전기 부하.

3. 내식성.

4. 산화되지 않음.

5. 높은 화학적 순도.

6. 기계적 강도가 높다.

장점은 에너지 효율적이고 가치가 높으며 유지 관리가 적다는 것입니다. 항산화 및 장수명 흑연도가니, 흑연금형, 흑연히터의 모든 부품을 생산할 수 있습니다.

MOCVD-기판-히터-가열 요소-For-MOCVD3-300x300

흑연 히터의 주요 매개변수

기술 사양

세미세라-M3

부피밀도(g/cm3)

≥1.85

회분 함량(PPM)

≤500

해안 경도

≥45

비저항(μ.Ω.m)

≤12

굴곡강도(Mpa)

≥40

압축강도(Mpa)

≥70

최대. 입자 크기(μm)

≤43

열팽창 계수 Mm/°C

≤4.4*10-6

MOCVD 기판히터_ MOCVD용 발열체
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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