Semicera의 8인치 N형 SiC 웨이퍼는 반도체 혁신의 선두에 서서 고성능 전자 장치 개발을 위한 견고한 기반을 제공합니다. 이러한 웨이퍼는 전력 전자 장치부터 고주파 회로에 이르기까지 현대 전자 응용 분야의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.
이러한 SiC 웨이퍼의 N형 도핑은 전기 전도성을 향상시켜 파워 다이오드, 트랜지스터 및 증폭기를 포함한 광범위한 응용 분야에 이상적입니다. 뛰어난 전도성은 고주파수 및 전력 수준에서 작동하는 장치에 중요한 에너지 손실을 최소화하고 효율적인 작동을 보장합니다.
Semicera는 첨단 제조 기술을 사용하여 표면 균일성이 뛰어나고 결함이 최소화된 SiC 웨이퍼를 생산합니다. 이러한 수준의 정밀도는 항공우주, 자동차, 통신 산업과 같이 일관된 성능과 내구성이 필요한 응용 분야에 필수적입니다.
Semicera의 8인치 N형 SiC 웨이퍼를 생산 라인에 통합하면 가혹한 환경과 고온을 견딜 수 있는 부품을 만들기 위한 기반이 제공됩니다. 이 웨이퍼는 전력 변환, RF 기술 및 기타 까다로운 분야의 응용 분야에 적합합니다.
Semicera의 8인치 N형 SiC 웨이퍼를 선택한다는 것은 고품질 재료 과학과 정밀 엔지니어링을 결합한 제품에 투자하는 것을 의미합니다. Semicera는 반도체 기술의 역량을 발전시키고 전자 장치의 효율성과 신뢰성을 향상시키는 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
| 품목 | 생산 | 연구 | 더미 |
| 크리스탈 매개변수 | |||
| 폴리타입 | 4H | ||
| 표면 방향 오류 | <11-20 >4±0.15° | ||
| 전기적 매개변수 | |||
| 도펀트 | n형 질소 | ||
| 비저항 | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| 기계적 매개변수 | |||
| 지름 | 150.0±0.2mm | ||
| 두께 | 350±25μm | ||
| 기본 평면 방향 | [1-100]±5° | ||
| 기본 평면 길이 | 47.5±1.5mm | ||
| 2차 아파트 | 없음 | ||
| TTV | 5μm 이하 | 10μm 이하 | 15μm 이하 |
| LTV | ≤3μm(5mm*5mm) | ≤5μm(5mm*5mm) | 10μm 이하(5mm*5mm) |
| 절하다 | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| 경사 | ≤35μm | 45μm 이하 | ≤55μm |
| 전면(Si-face) 거칠기(AFM) | Ra≤0.2nm(5μm*5μm) | ||
| 구조 | |||
| 마이크로파이프 밀도 | <1개/cm2 | <10개/cm2 | <15개/cm2 |
| 금속 불순물 | ≤5E10원자/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500개/cm2 | ≤3000개/cm2 | NA |
| 티에스디 | ≤500개/cm2 | ≤1000개/cm2 | NA |
| 전면 품질 | |||
| 앞쪽 | Si | ||
| 표면 마무리 | Si-페이스 CMP | ||
| 입자 | ≤60개/웨이퍼(크기≥0.3μm) | NA | |
| 긁힌 자국 | ≤5ea/mm. 누적 길이 ≤직경 | 누적 길이≤2*직경 | NA |
| 오렌지 껍질/구덩이/얼룩/줄무늬/균열/오염 | 없음 | NA | |
| 가장자리 칩/압흔/파손/육각 플레이트 | 없음 | ||
| 다형 영역 | 없음 | 누적 면적 ≤20% | 누적 면적 ≤30% |
| 전면 레이저 마킹 | 없음 | ||
| 뒷면 품질 | |||
| 백마무리 | C-페이스 CMP | ||
| 긁힌 자국 | ≤5ea/mm, 누적 길이≤2*직경 | NA | |
| 뒷면 결함(가장자리 칩/압흔) | 없음 | ||
| 뒷면 거칠기 | Ra≤0.2nm(5μm*5μm) | ||
| 후면 레이저 마킹 | 1mm(상단 가장자리부터) | ||
| 가장자리 | |||
| 가장자리 | 모따기 | ||
| 포장 | |||
| 포장 | 진공 포장으로 Epi 준비 완료 다중 웨이퍼 카세트 포장 | ||
| *참고: "NA"는 요청 없음을 의미합니다. 언급되지 않은 항목은 SEMI-STD를 참조할 수 있습니다. | |||
