Semicera의 4" 6" 반절연 SiC 기판은 RF 및 전력 장치 응용 분야의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고품질 소재입니다. 이 기판은 탄화규소의 우수한 열 전도성과 높은 항복 전압을 반절연 특성과 결합하여 고급 반도체 장치 개발에 이상적인 선택입니다.
4" 6" 반절연 SiC 기판은 고순도 재료와 일관된 반절연 성능을 보장하기 위해 신중하게 제조되었습니다. 이를 통해 기판은 증폭기 및 트랜지스터와 같은 RF 장치에 필요한 전기 절연을 제공하는 동시에 고전력 애플리케이션에 필요한 열 효율도 제공합니다. 그 결과 광범위한 고성능 전자 제품에 사용할 수 있는 다용도 기판이 탄생했습니다.
Semicera는 중요한 반도체 응용 분야에 안정적이고 결함 없는 기판을 제공하는 것이 중요하다는 것을 인식하고 있습니다. 당사의 4" 6" 반절연 SiC 기판은 결정 결함을 최소화하고 재료 균일성을 향상시키는 고급 제조 기술을 사용하여 생산됩니다. 이를 통해 제품은 향상된 성능, 안정성 및 수명을 갖춘 장치 제조를 지원할 수 있습니다.
품질에 대한 Semicera의 약속은 4" 6" 반절연 SiC 기판이 광범위한 응용 분야에서 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 보장합니다. 고주파 장치를 개발하든 에너지 효율적인 전력 솔루션을 개발하든 당사의 반절연 SiC 기판은 차세대 전자 장치의 성공을 위한 기반을 제공합니다.
기본 매개변수
| 크기 | 6인치 | 4인치 |
| 지름 | 150.0mm+0mm/-0.2mm | 100.0mm+0mm/-0.5mm |
| 표면 방향 | {0001}±0.2° | |
| 기본 평면 방향 | / | <1120>±5° |
| 보조플랫 방향 | / | 실리콘 페이스 업:프라임 플랫에서 시계 방향으로 90°±5° |
| 1차 플랫 길이 | / | 32.5mm 士2.0mm |
| 2차 플랫 길이 | / | 18.0mm×2.0mm |
| 노치 방향 | <1100>±1.0° | / |
| 노치 방향 | 1.0mm+0.25mm/-0.00mm | / |
| 노치 각도 | 90°+5°/-1° | / |
| 두께 | 500.0um~25.0um | |
| 전도성 유형 | 반절연 | |
크리스탈 품질 정보
| 항목 | 6인치 | 4인치 |
| 비저항 | ≥1E9Q·cm | |
| 폴리타입 | 허용되지 않음 | |
| 마이크로파이프 밀도 | ≤0.5/cm2 | ≤0.3/cm2 |
| 고강도 빛에 의한 육각형 플레이트 | 허용되지 않음 | |
| 높은 시각적 탄소 함유물 | 누적 면적 ≤0.05% | |
저항률 - 비접촉 시트 저항으로 테스트되었습니다.
마이크로파이프 밀도
