SiC 캔틸레버 패들단결정 및 다결정 실리콘 웨이퍼 코팅을 위해 광전지 산업의 확산 코팅로에서 사용되고 있습니다. 높은 온도와 부식에 견디는 특성이 있어 수명이 길다.
그만큼SiC 캔틸레버 패들실리콘 웨이퍼를 고온 확산 코팅로 튜브로 운반하는 SiC 보트/석영 보트를 제공합니다.
우리의 길이SiC 캔틸레버 패들범위는 1,500~3,500mm입니다.SiC 캔틸레버 패들치수는 고객의 사양에 따라 맞춤 제작될 수 있습니다.
| 재결정화된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 재산 | 일반적인 값 |
| 작동 온도(°C) | 1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경) |
| SiC 함량 | > 99.96% |
| 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 부피 밀도 | 2.60-2.70g/cm23 |
| 겉보기 다공성 | < 16% |
| 압축 강도 | > 600MPa |
| 냉간 굽힘 강도 | 80-90MPa(20°C) |
| 뜨거운 굽힘 강도 | 90-100MPa(1400°C) |
| 열팽창 @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 열전도도 @1200°C | 23W/m•K |
| 탄성률 | 240GPa |
| 열충격 저항 | 매우 좋음 |
