웨이퍼 서셉터

웨이퍼 서셉터에피택시 공정에서 없어서는 안 될 핵심 부품입니다. Semicera는 다음을 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다.Si 에피택시그리고SiC 에피택시정밀한 설계와 제조를 통해 공정을 진행합니다. 당사의 Wafer Susceptor는 Epitaxy 공정 중 균일한 열 분포를 보장하고 단결정 실리콘(Mono Crystal Silicon) 층의 증착 품질을 향상시킵니다. 다양한 유형에서 잘 수행됩니다.MOCVD 서셉터그리고배럴 서셉터다양한 반도체 제조 공정에 적합합니다.

세미세라의웨이퍼서셉터는 고강도 소재로 제작되어 내열성과 내식성이 우수하며, 복잡한 에피택시 공정 조건에서도 장기간 안정성을 유지할 수 있습니다. Si 에피택시 또는 SiC 에피택시 공정에서 Semicera의 서셉터는 에피택시 성장 중에 웨이퍼의 품질 일관성을 보장하기 위해 정밀한 온도 제어 지원을 제공할 수 있습니다.

또한 Semicera의 웨이퍼 서셉터는 특히 MOCVD 서셉터 및 배럴 서셉터 응용 분야에서 다양한 장비 및 사양 요구 사항에 맞게 정밀하게 가공됩니다. 탁월한 소재 선택과 공정 제어를 통해 당사 제품은 생산 효율성을 향상시킬 뿐만 아니라 공정에서 불량률과 에너지 소비를 크게 줄입니다.

반도체 산업의 매우 까다로운 에피택시 공정의 경우 Semikera의 웨이퍼 서셉터가 이상적인 선택입니다. R&D든 대량 생산이든 당사의 웨이퍼 서셉터는 고객이 Si 에피택시 및 SiC 에피택시 공정에서 더 높은 신뢰성과 더 나은 결정 구조를 달성하도록 도울 수 있습니다.