실리콘 카바이드(SiC) 코팅이 적용된 웨이퍼 캐리어

간단한 설명:

탄화규소(SiC) 코팅이 적용된 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조에 사용되는 기판입니다. 웨이퍼 캐리어 표면에 탄화규소 물질층을 코팅한 것이 특징입니다. 탄화규소는 열 전도성이 뛰어나고 내열성이 높아 반도체 공정의 열 관리에 이상적인 소재입니다.

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설명

웨이퍼 캐리어~와 함께실리콘 카바이드(SiC) 코팅semicera의 제품은 고성능 에피택시 성장을 위해 전문적으로 설계되어 최적의 결과를 보장합니다.Si 에피택시그리고SiC 에피택시응용 프로그램. Semicera의 정밀 엔지니어링 캐리어는 극한의 조건을 견딜 수 있도록 제작되어 높은 정확도와 내구성이 요구되는 산업을 위한 MOCVD 서셉터 시스템의 필수 구성 요소입니다.

이러한 웨이퍼 캐리어는 다목적이며 다음과 같은 장비로 중요한 프로세스를 지원합니다.PSS 에칭 캐리어, ICP 에칭 캐리어, 그리고RTP 캐리어. 견고한 SiC 코팅은 다음과 같은 응용 분야의 성능을 향상시킵니다.LED 에피텍셜서셉터 및 단결정 실리콘은 까다로운 환경에서도 일관된 결과를 보장합니다.

배럴 서셉터 및 팬케이크 서셉터와 같은 다양한 구성으로 제공되는 이러한 캐리어는 광전지 및 반도체 제조에서 중요한 역할을 하며 광전지 부품 생산을 지원하고 SiC 에피택시 공정에서 GaN을 촉진합니다. 뛰어난 디자인을 갖춘 이 캐리어는 고효율 생산을 목표로 하는 제조업체에게 핵심 자산입니다.