액상 에피택시를 위한 SiC 코팅 배럴 반응기

간단한 설명:

Semicera는 다양한 에피택시 반응기를 위해 설계된 광범위한 서셉터 및 흑연 구성 요소를 제공합니다.

업계 최고의 OEM과의 전략적 파트너십, 광범위한 재료 전문 지식 및 고급 제조 기능을 통해 Semicera는 응용 분야의 특정 요구 사항을 충족하는 맞춤형 설계를 제공합니다. 우수성에 대한 우리의 약속은 귀하가 에피택시 반응기 요구 사항에 맞는 최적의 솔루션을 받을 수 있도록 보장합니다.

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제품 세부정보

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우리 회사는SiC 코팅흑연, 세라믹 및 기타 재료의 표면에 CVD 방법을 사용하여 탄소 및 규소를 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도 SiC 분자를 얻고 코팅된 재료의 표면에 증착하여 형성할 수 있는 서비스입니다.SiC 보호층에피택시 배럴형 Hy pnotic용.

주요 특징:

1. 고순도 SiC 코팅 흑연

2. 우수한 내열성 및 열균일성

3. 벌금SiC 크리스탈 코팅매끄러운 표면을 위해

4. 화학적 세척에 대한 내구성이 뛰어납니다.

주요사양CVD-SIC 코팅

SiC-CVD 속성
결정 구조	FCC β상
밀도	g/cm ³	3.21
경도	비커스 경도	2500
입자 크기	μm	2~10
화학적 순도	%	99.99995
열용량	J·kg-1·K-1	640
승화 온도	℃	2700
굽힘 강도	MPa(RT 4점)	415
영률	Gpa (4pt 굴곡, 1300℃)	430
열팽창(CTE)	10-6K-1	4.5
열전도율	(W/mK)	300