Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.
TaC 유무에 관계없이
TaC 사용 후(오른쪽)
또한, 세미세라의 TaC 코팅 제품은 SiC 코팅 제품에 비해 사용 수명이 길고 고온에 대한 저항력이 뛰어납니다. 오랜 시간 동안 실험실 측정 데이터를 수집한 후 당사의 TaC는 최대 섭씨 2300도에서도 오랫동안 작동할 수 있습니다. 다음은 샘플 중 일부입니다.
(a) PVT 공법에 의한 SiC 단결정 잉곳성장 장치의 모식도 (b) 상부 TaC 코팅 시드 브라켓(SiC 시드 포함) (c) TAC 코팅 흑연 가이드 링
