Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다.탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.
흑연은 우수한 고온 소재이지만 고온에서는 쉽게 산화됩니다.불활성 가스를 사용하는 진공로에서도 여전히 느린 산화가 진행될 수 있습니다.CVD 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 사용하면 흑연 기판을 효과적으로 보호하여 흑연과 동일한 고온 저항을 제공할 수 있습니다.TaC는 또한 불활성 물질이므로 고온에서 아르곤이나 수소와 같은 가스와 반응하지 않습니다.문의탄탈륨 카바이드 CVD 코팅 EPI 서셉터 지금!
TaC 유무에 관계없이
TaC 사용 후(오른쪽)
