탄탈륨 카바이드 코팅된 서셉터 지지 플레이트얇은 층으로 덮인 서셉터 또는 지지 구조입니다.탄탈륨 카바이드. 이 코팅은 물리적 기상 증착(PVD) 또는 화학적 기상 증착(CVD)과 같은 기술을 통해 서셉터 표면에 형성될 수 있으며, 이는 서셉터에 다음과 같은 우수한 특성을 부여합니다.탄탈륨 카바이드.
Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.
탄탈륨 카바이드 코팅 베이스 지지판의 주요 특징은 다음과 같습니다.
1. 고온 안정성: 탄탈륨 카바이드는 고온 안정성이 뛰어나 코팅된 베이스 지지판을 고온 작업 환경의 지지 요구에 적합하게 만듭니다.
2. 내식성: 탄탈륨 카바이드 코팅은 내식성이 우수하고 화학적 부식 및 산화에 저항할 수 있으며 베이스의 수명을 연장합니다.
3. 높은 경도 및 내마모성: 탄탈륨 카바이드 코팅의 높은 경도는 베이스 지지판에 우수한 내마모성을 제공하여 높은 내마모성이 요구되는 경우에 적합합니다.
4. 화학적 안정성: 탄탈륨 카바이드는 다양한 화학 물질에 대해 높은 안정성을 가지므로 코팅된 베이스 지지판이 일부 부식성 환경에서 잘 작동합니다.
TaC 유무에 관계없이
TaC 사용 후(오른쪽)
