탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 플레이트

간단한 설명:

Semicera의 탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 플레이트는 탄화규소 에피택시 및 결정 성장의 고성능 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 이 플레이트는 고온, 부식성 및 고압 환경에서 탁월한 안정성을 제공합니다. 첨단 원자로 및 용광로 구조에 사용하기에 이상적이며 시스템 성능과 수명을 향상시킵니다. Semicera는 까다로운 엔지니어링 요구 사항에 맞는 최첨단 코팅 기술로 우수한 품질과 신뢰성을 보장합니다.


제품 세부정보

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탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 시트얇은 층의 흑연 재료입니다.탄탈륨 카바이드기판 표면에. 탄탈륨 카바이드의 얇은 층은 일반적으로 물리적 기상 증착(PVD) 또는 화학적 기상 증착(CVD)과 같은 기술에 의해 흑연 기판 표면에 형성됩니다. 이 코팅은 높은 경도, 우수한 내마모성, 내식성 및 고온 안정성과 같은 우수한 특성을 가지고 있습니다.

 

Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정은 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 통해 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.

 

수년간의 개발 끝에 Semicera는CVD TaCR&D 부서의 공동 노력으로 SiC 웨이퍼는 성장 과정에서 불량이 발생하기 쉽지만, 사용 후에는TaC, 그 차이는 상당합니다. 아래는 TaC 유무에 따른 웨이퍼와 단결정 성장을 위한 Simicera 부품을 비교한 것입니다.

탄탈륨 카바이드 코팅 흑연 시트의 주요 장점은 다음과 같습니다.

1. 고온 저항 : 탄탈륨 카바이드는 융점이 높고 고온 안정성이 뛰어나 코팅 흑연 시트를 고온 환경에서 사용하기에 적합합니다.

2. 내식성: 탄탈륨 카바이드 코팅은 많은 화학적 부식성 물질의 침식에 저항하고 재료의 수명을 연장할 수 있습니다.

3. 높은 경도 : 탄탈 탄화물 박층의 높은 경도는 우수한 내마모성을 제공하며 높은 내마모성을 요구하는 용도에 적합합니다.

4. 화학적 안정성: 탄탈륨 카바이드 코팅은 화학적 부식에 대한 안정성이 뛰어나며 일부 부식성 매체에 사용하기에 적합합니다.

 
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TaC 유무에 관계없이

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TaC 사용 후(오른쪽)

게다가 Semicera의TaC 코팅제품비해 수명이 길고 고온 저항이 뛰어납니다.SiC 코팅.실험실 측정 결과에 따르면 우리는TaC 코팅장시간 동안 최대 섭씨 2300도의 온도에서 일관되게 작동할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다.

 
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