Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.
탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 캐리어는 반도체 제조 공정의 웨이퍼 처리 및 핸들링 공정에 널리 사용됩니다. 이는 제조 과정에서 웨이퍼의 안전성, 정확성 및 일관성을 보장하기 위해 안정적인 지원과 보호를 제공합니다. 탄탈륨 카바이드 코팅은 캐리어의 수명을 연장하고, 비용을 절감하며, 반도체 제품의 품질과 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다.
탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 캐리어에 대한 설명은 다음과 같습니다.
1. 재료 선택 : 탄탈륨 카바이드는 우수한 성능, 고경도, 고 융점, 내식성 및 우수한 기계적 특성을 지닌 재료이므로 반도체 제조 공정에 널리 사용됩니다.
2. 표면 코팅 : 탄탈륨 카바이드 코팅은 특수 코팅 공정을 통해 웨이퍼 캐리어 표면에 적용되어 균일하고 치밀한 탄탈륨 카바이드 코팅을 형성합니다. 이 코팅은 우수한 열 전도성을 가지면서 추가적인 보호 및 내마모성을 제공할 수 있습니다.
3. 평탄도 및 정밀도: 탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 캐리어는 높은 수준의 평탄도와 정밀도를 갖고 있어 제조 공정 중 웨이퍼의 안정성과 정확성을 보장합니다. 캐리어 표면의 평탄도와 마감은 웨이퍼의 품질과 성능을 보장하는 데 중요합니다.
4. 온도 안정성: 탄탈륨 카바이드 코팅 웨이퍼 캐리어는 변형이나 풀림 없이 고온 환경에서 안정성을 유지할 수 있어 고온 공정에서 웨이퍼의 안정성과 일관성을 보장합니다.
5. 내식성: 탄탈륨 카바이드 코팅은 내식성이 뛰어나고 화학 물질 및 용제의 침식에 저항할 수 있으며 액체 및 가스 부식으로부터 캐리어를 보호합니다.
TaC 유무에 관계없이
TaC 사용 후(오른쪽)
