TaC 코팅 플레이트는 SiC 에피택셜 공정에 사용하도록 설계된 특수 디스크로, 고품질 흑연 소재를 정밀하게 제작했습니다. 표면은 탁월한 순도와 강도로 잘 알려진 화합물인 탄탈륨 카바이드(TaC)로 꼼꼼하게 코팅되어 있습니다. TaC 코팅은 플레이트의 내구성과 고온에 대한 저항성을 향상시켜 SiC 에피택셜 공정의 까다로운 조건에 이상적입니다.
이 혁신적인 TaC 코팅 플레이트는 SiC 에피택셜 공정에 사용하도록 설계된 특수 디스크로, 고품질 흑연 소재를 정밀하게 제작했습니다. TaC 코팅 플레이트 표면은 탁월한 순도와 강도로 알려진 화합물인 탄탈륨 카바이드(TaC)로 꼼꼼하게 코팅됩니다. SiC 에피택셜 성장의 다양한 단계에서 웨이퍼를 운반하기 위한 안정적인 플랫폼 역할을 합니다. 고순도 흑연 베이스는 안정적이고 불활성인 표면을 제공하며, TaC 코팅은 화학 반응과 마모에 대한 추가 보호 층을 추가합니다.
세미연대TaC 코팅 플레이트는 고객의 특정 요구 사항에 따라 맞춤화되어 SiC 에피택시 시스템과의 최적 성능 및 호환성을 보장합니다. 크기, 모양 또는 기타 사양에 관계없이 이 플레이트는 모든 응용 분야의 고유한 요구 사항을 충족하도록 맞춤화되었습니다.
TaC 유무에 관계없이
TaC 사용 후(오른쪽)
