TaC 코팅 MOCVD 흑연 서셉터

간단한 설명:

Semicera의 TaC 코팅 MOCVD 흑연 서셉터는 높은 내구성과 뛰어난 고온 저항을 위해 설계되어 MOCVD 에피택시 응용 분야에 적합합니다. 이 서셉터는 Deep UV LED 생산의 효율성과 품질을 향상시킵니다. 정밀하게 제조된 Semicera는 모든 제품에서 최고의 성능과 신뢰성을 보장합니다.


제품 세부정보

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 TaC 코팅일반적으로 MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착) 기술을 통해 흑연 기반 위에 준비되는 중요한 재료 코팅입니다. 이 코팅은 높은 경도, 우수한 내마모성, 고온 저항 및 화학적 안정성과 같은 우수한 특성을 가지며 다양한 수요가 높은 엔지니어링 응용 분야에 적합합니다.

MOCVD 기술은 금속 유기 전구체와 반응성 가스를 고온에서 반응시켜 기판 표면에 원하는 화합물막을 증착시키는 일반적으로 사용되는 박막 성장 기술이다. 준비할 때TaC 코팅적절한 금속 유기 전구체와 탄소 소스를 선택하고 반응 조건과 증착 매개변수를 제어하면 균일하고 조밀한 TaC 필름이 흑연 베이스에 증착될 수 있습니다.

 

Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정은 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 통해 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.

 

수년간의 개발 끝에 Semicera는CVD TaCR&D 부서의 공동 노력으로 SiC 웨이퍼는 성장 과정에서 불량이 발생하기 쉽지만, 사용 후에는TaC, 그 차이는 상당합니다. 아래는 TaC 유무에 따른 웨이퍼와 단결정 성장을 위한 Simicera 부품을 비교한 것입니다.

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TaC 유무에 관계없이

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TaC 사용 후(오른쪽)

게다가 Semicera의TaC 코팅제품비해 수명이 길고 고온 저항이 뛰어납니다.SiC 코팅.실험실 측정 결과에 따르면 우리는TaC 코팅장시간 동안 최대 섭씨 2300도의 온도에서 일관되게 작동할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다.

 
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