TaC 코팅일반적으로 MOCVD(금속 유기 화학 기상 증착) 기술을 통해 흑연 기반 위에 준비되는 중요한 재료 코팅입니다. 이 코팅은 높은 경도, 우수한 내마모성, 고온 저항 및 화학적 안정성과 같은 우수한 특성을 가지며 다양한 수요가 높은 엔지니어링 응용 분야에 적합합니다.
MOCVD 기술은 금속 유기 전구체를 반응성 가스와 고온에서 반응시켜 기판 표면에 원하는 화합물막을 증착시키는 일반적으로 사용되는 박막 성장 기술이다. 준비할 때TaC 코팅적절한 금속 유기 전구체와 탄소 소스를 선택하고 반응 조건과 증착 매개변수를 제어하면 균일하고 조밀한 TaC 필름이 흑연 베이스에 증착될 수 있습니다.
Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.
TaC 유무에 관계없이
TaC 사용 후(오른쪽)
