CVD TaC 코팅

CVD TaC 코팅 소개:

CVD TaC 코팅은 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition)을 이용해 기판 표면에 탄탈륨(TaC) 코팅을 증착하는 기술이다. 탄탈륨 카바이드는 우수한 기계적, 화학적 특성을 지닌 고성능 세라믹 소재입니다. CVD 공정은 가스 반응을 통해 기판 표면에 균일한 TaC 막을 생성하는 공정이다.

주요 기능:

경도 및 내마모성이 우수함: 탄탈륨 카바이드는 경도가 매우 높으며, CVD TaC 코팅을 사용하면 모재의 내마모성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 이로 인해 코팅은 절삭 공구 및 금형과 같이 마모가 심한 환경의 응용 분야에 이상적입니다.

고온 안정성: TaC 코팅은 최대 2200°C의 온도에서 중요한 용광로 및 반응기 구성 요소를 보호하여 우수한 안정성을 보여줍니다. 극한의 온도 조건에서도 화학적, 기계적 안정성을 유지하므로 고온 환경에서의 고온 처리 및 응용에 적합합니다.

우수한 화학적 안정성: 탄탈륨 카바이드는 대부분의 산과 알칼리에 강한 내식성을 가지며, CVD TaC 코팅은 부식 환경에서 모재의 손상을 효과적으로 방지할 수 있습니다.

높은 융점: 탄탈륨 카바이드는 녹는점이 약 3880°C로 높아 극한의 고온 조건에서도 녹거나 분해되지 않고 사용이 가능한 CVD TaC 코팅입니다.

우수한 열전도율: TaC 코팅은 열전도율이 높아 고온 공정에서 효과적으로 열을 방출하고 국부적인 과열을 방지합니다.

잠재적인 응용:

• 웨이퍼 캐리어, 위성 접시, 샤워헤드, 천장 및 서셉터를 포함한 질화갈륨(GaN) 및 탄화규소 에피택시 CVD 반응기 구성요소

• 도가니, 시드 홀더, 가이드 링 및 필터를 포함한 탄화규소, 질화갈륨 및 질화알루미늄(AlN) 결정 성장 부품

• 저항 발열체, 주입 노즐, 마스킹 링, 브레이징 지그를 포함한 산업용 부품

애플리케이션 기능:

• 2000°C 이상에서 안정적인 온도로 극한의 온도에서도 작동 가능
•수소(Hz), 암모니아(NH3), 모노실란(SiH4) 및 실리콘(Si)에 대한 내성이 있어 혹독한 화학적 환경에서도 보호 기능 제공
• 열충격 저항성 덕분에 작동 주기가 더 빨라집니다.
• 흑연은 접착력이 강하여 긴 수명을 보장하고 코팅 박리 현상이 발생하지 않습니다.
• 불필요한 불순물이나 오염 물질을 제거하는 초고순도
• 엄격한 치수 공차에 대한 컨포멀 코팅 적용 범위

기술 사양:

CVD에 의한 조밀한 탄탈륨 카바이드 코팅 준비：