TaC 코팅 흑연 가이드 링

간단한 설명:

Semicera Semiconductor의 TaC 코팅 흑연 가이드 링은 탄화규소 결정 성장을 위해 설계되어 탁월한 내마모성과 열 안정성을 제공합니다. 안정적인 고성능 구성 요소를 위해 Semicera를 선택하십시오.


제품 세부정보

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TaC 코팅 흑연 가이드 링얇은 막이 쌓이는 현상을 말합니다.탄탈륨 카바이드흑연 가이드 링 표면에 내마모성, 고온 저항 및 화학적 안정성을 향상시킵니다. 이 코팅은 일반적으로 물리적 기상 증착(PVD) 또는 화학적 기상 증착(CVD)과 같은 기술에 의해 흑연 가이드 링의 표면에 형성됩니다.

 

Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정은 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 통해 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.

 

수년간의 개발 끝에 Semicera는CVD TaCR&D 부서의 공동 노력으로 SiC 웨이퍼는 성장 과정에서 불량이 발생하기 쉽지만, 사용 후에는TaC, 그 차이는 상당합니다. 아래는 TaC 유무에 따른 웨이퍼와 단결정 성장을 위한 Simicera 부품을 비교한 것입니다.

TaC 코팅 흑연 가이드 링의 주요 특징은 다음과 같습니다.

1. 고온 저항 : TaC 코팅은 고온 안정성이 뛰어나 고온 환경에서도 안정성을 유지할 수 있습니다.

2. 내마모성 : 탄탈륨 탄화물 얇은 층의 높은 경도는 가이드 링에 우수한 내마모성을 부여하고 수명을 연장시킵니다.

3. 화학적 안정성: TaC 코팅은 화학적 부식에 대한 안정성이 높아 일부 부식성 매체에 적용하기에 적합합니다.

4. 마찰 감소: TaC 코팅은 흑연 가이드 링과 기타 구성 요소 사이의 마찰을 효과적으로 줄이고 기계적 밀봉의 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

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TaC 유무에 관계없이

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TaC 사용 후(오른쪽)

게다가 Semicera의TaC 코팅제품비해 수명이 길고 고온 저항이 뛰어납니다.SiC 코팅.실험실 측정 결과에 따르면 우리는TaC 코팅장시간 동안 최대 섭씨 2300도의 온도에서 일관되게 작동할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다.

 
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