Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.
탄화규소(SiC)는 3세대 반도체의 핵심 소재지만 수율이 산업 성장을 제약하는 요인으로 작용해왔다. Semicera의 실험실에서 광범위한 테스트를 거친 후 분사 및 소결된 TaC에는 필요한 순도와 균일성이 부족한 것으로 나타났습니다. 반면 CVD 공정은 5PPM 수준의 순도와 우수한 균일성을 보장한다. CVD TaC를 사용하면 탄화규소 웨이퍼의 수율이 크게 향상됩니다. 우리는 토론을 환영합니다TaC 코팅 흑연 3세그먼트 링 SiC 웨이퍼 비용을 더욱 절감합니다.
TaC 유무에 관계없이
TaC 사용 후(오른쪽)
