TaC 코팅 에피택셜 웨이퍼 캐리어일반적으로 고성능 광전자 장치, 전력 장치, 센서 및 기타 분야의 준비에 사용됩니다. 이것에피택셜 웨이퍼 캐리어기탁을 말한다.TaC후속 장치 준비를 위해 특정 구조와 성능을 가진 웨이퍼를 형성하기 위해 결정 성장 공정 중에 기판에 얇은 필름을 형성합니다.
일반적으로 화학기상증착(CVD) 기술을 사용하여 제조합니다.TaC 코팅 에피택셜 웨이퍼 캐리어. 금속 유기 전구체와 탄소 소스 가스를 고온에서 반응시켜 결정 기판 표면에 TaC 막을 증착할 수 있다. 이 필름은 우수한 전기적, 광학적, 기계적 특성을 가질 수 있어 다양한 고성능 소자 제조에 적합합니다.
Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera의 선도적인 코팅 공정을 통해 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅이 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 엣지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 방식으로 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.
TaC 유무에 관계없이
TaC 사용 후(오른쪽)
