탄탈륨 카바이드(TaC)높은 융점, 높은 경도, 우수한 화학적 안정성, 강한 전기 및 열 전도성 등의 장점을 지닌 초고온 내성 세라믹 소재입니다.TaC 코팅내마모성 코팅, 내산화성 코팅, 내마모성 코팅으로 사용할 수 있으며 항공우주 열 보호, 3세대 반도체 단결정 성장, 에너지 전자 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다.
프로세스:
탄탈륨 카바이드(TaC)높은 융점, 높은 경도, 우수한 화학적 안정성, 강한 전기 및 열 전도성 등의 장점을 지닌 일종의 초고온 저항성 세라믹 재료입니다. 그러므로,TaC 코팅내마모성 코팅, 내산화성 코팅, 내마모성 코팅으로 사용할 수 있으며 항공우주 열 보호, 3세대 반도체 단결정 성장, 에너지 전자 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다.
일반 응용 프로그램:
GaN 및SiC 에피텍셜웨이퍼 캐리어, 위성 접시, 샤워헤드, 상단 덮개 및 서셉터를 포함한 CVD 반응기 구성 요소.
도가니, 종자 결정 홀더, 흐름 가이드 및 필터를 포함한 SiC, GaN 및 AlN 결정 성장 구성 요소.
저항 가열 요소, 노즐, 차폐 링 및 브레이징 고정 장치를 포함한 산업용 구성 요소.
주요 기능:
2600℃에서의 고온 안정성
H의 가혹한 화학적 환경에서 정상 상태 보호 제공2, NH3, SiH4및 Si 증기
생산주기가 짧은 대량생산에 적합합니다.
