실리콘 함침 실리콘 카바이드(SiC) 패들 및 웨이퍼 캐리어

간단한 설명:

실리콘 함침 실리콘 카바이드(SiC) 패들 및 웨이퍼 캐리어는 재결정화된 실리콘 카바이드 매트릭스에 실리콘을 침투시키고 특수 처리를 거쳐 형성된 고성능 복합 재료입니다. 이 소재는 재결정 탄화규소의 고강도 및 고온 내성과 향상된 실리콘 침투 성능을 결합하여 극한 조건에서 탁월한 성능을 발휘합니다. 반도체 열처리 분야, 특히 고온, 고압, 높은 내마모성이 요구되는 환경에서 널리 사용되며, 반도체 생산 공정에서 열처리 부품 제조에 이상적인 소재입니다.

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제품 세부정보

제품 태그

제품개요

그만큼실리콘 함침 실리콘 카바이드(SiC) 패들 및 웨이퍼 캐리어반도체 열 처리 응용 분야의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고순도 SiC로 제작되고 실리콘 함침을 통해 강화된 이 제품은 고온 성능, 우수한 열 전도성, 내식성 및 뛰어난 기계적 강도의 독특한 조합을 제공합니다.

첨단 재료 과학과 정밀 제조를 통합한 이 솔루션은 반도체 제조업체에 탁월한 성능, 신뢰성 및 내구성을 보장합니다.

주요 특징

1.뛰어난 고온 저항

융점이 2700°C를 초과하는 SiC 소재는 본질적으로 극심한 열에서도 안정적입니다. 실리콘 함침은 열 안정성을 더욱 향상시켜 구조적 약화나 성능 저하 없이 고온에 장기간 노출을 견딜 수 있게 해줍니다.

2.우수한 열전도율

실리콘 함침 SiC의 탁월한 열 전도성은 균일한 열 분포를 보장하여 중요한 공정 단계에서 열 응력을 줄입니다. 이 특성은 장비 수명을 연장하고 생산 중단 시간을 최소화하여 고온 열처리에 이상적입니다.

3.산화 및 부식 저항

견고한 산화규소 층이 표면에 자연적으로 형성되어 산화 및 부식에 대한 탁월한 저항성을 제공합니다. 이는 열악한 작동 환경에서 장기적인 신뢰성을 보장하여 재료와 주변 구성 요소를 모두 보호합니다.

4.높은 기계적 강도와 내마모성

실리콘 함침 SiC는 탁월한 압축 강도와 내마모성을 갖추고 있어 고부하, 고온 조건에서도 구조적 무결성을 유지합니다. 이를 통해 마모로 인한 손상 위험이 줄어들고 확장된 사용 주기 동안 일관된 성능이 보장됩니다.

명세서

제품명	SC-RSiC-Si
재료	실리콘 함침 실리콘 카바이드 컴팩트(고순도)
응용	반도체 열처리 부품, 반도체 제조장비 부품
배송 형태	성형체(소결체)

구성			기계적 성질	영률(GPa)	굽힘 강도 (MPa)
구성(부피%)	α-SiC	α-SiC	RT	370	250
구성(부피%)	82	18	800°C	360	220
부피밀도(kg/m3)	3.02x10³		1200°C	340	220
내열온도°C	1350		포아송비	0.18(RT)
열적 특성	열전도율 (W/(m·K))	비열 용량 (kJ/(kg·K))	열팽창 계수 (1/K)
RT	220	0.7	상온~700°C	3.4x10^-6
700°C	60	1.23	700~1200°C	4.3x10^-6

불순물 함량((ppm)

요소

함유율

<0.5

<0.1

0.3

<0.1

<0.3

응용

▪반도체 열처리:정밀한 온도 제어와 재료 내구성이 중요한 화학 기상 증착(CVD), 에피택셜 성장, 어닐링과 같은 공정에 이상적입니다.

▪웨이퍼 캐리어 및 패들:고온 열처리 중에 웨이퍼를 안전하게 고정하고 운반하도록 설계되었습니다.

▪극한의 운영 환경: 열, 화학적 노출 및 기계적 응력에 대한 저항이 필요한 환경에 적합합니다.

실리콘 함침 SiC의 장점

고순도 탄화규소와 고급 실리콘 함침 기술의 결합은 비교할 수 없는 성능 이점을 제공합니다.

▪정도:반도체 공정의 정확성과 제어력을 향상시킵니다.

▪안정:기능 저하 없이 열악한 환경을 견딜 수 있습니다.

▪장수:반도체 제조 장비의 수명을 연장합니다.

▪능률:안정적이고 일관된 결과를 보장하여 생산성을 향상시킵니다.

실리콘 함침 SiC 솔루션을 선택하는 이유는 무엇입니까?

At 세미세라, 우리는 반도체 제조업체의 요구에 맞는 고성능 솔루션을 전문적으로 제공합니다. 당사의 실리콘 함침 실리콘 카바이드 패들 및 웨이퍼 캐리어는 산업 표준을 충족하기 위해 엄격한 테스트와 품질 보증을 거칩니다. Semicera를 선택하면 제조 공정을 최적화하고 생산 능력을 향상시키도록 설계된 최첨단 소재에 접근할 수 있습니다.