실리콘 카바이드 웨이퍼 홀더는 RTP 캐리어, LED 에피택셜 서셉터 및 배럴 서셉터에 사용될 수 있을 뿐만 아니라 단결정 실리콘 제조 공정에서 안정적인 로딩을 지원합니다. 이 제품은 또한 팬케이크 서셉터(Pancake Susceptor) 및 광전지 부품(Photovoltaic Parts)에서도 우수한 성능을 발휘하며, 특히 SiC 에피택시에서 GaN 공정에 사용하기에 적합하여 생산 효율성을 효과적으로 향상시키고 결함을 줄입니다.
Semicera의 탄화규소 웨이퍼 홀더는 고품질 탄화규소 소재를 사용하여 내열성이 우수할 뿐만 아니라 부식 환경에서도 안정성을 유지할 수 있습니다. ICP Etching Carrier 또는 기타 복잡한 에피택시 및 에칭 공정에서 이 제품은 안정적인 웨이퍼 로딩을 보장하고 스트레스를 줄이며 제조 품질을 최적화할 수 있습니다.
Semicera의 탄화규소 웨이퍼 홀더는 복잡한 에피택시 및 에칭 공정을 위해 설계되었습니다. 뛰어난 성능과 높은 내구성으로 인해 반도체 제조에 이상적인 선택이 되었습니다. Si Epitaxy를 지원하든 SiC Epitaxy를 지원하든, semicera는 고객에게 일류 제품과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
내열성 및 내식성이 우수하여 폭넓게 적용 가능한 반도체 제조 장비
