설명
SiC 샤워헤드의 특징은 다음과 같습니다.
1. 내식성 : SiC 소재는 내식성이 우수하고 다양한 화학 액체 및 용액의 침식을 견딜 수 있으며 다양한 화학 처리 및 표면 처리 공정에 적합합니다.
2. 고온 안정성:SiC 노즐고온 환경에서도 구조적 안정성을 유지할 수 있어 고온 처리가 필요한 용도에 적합합니다.
3. 균일한 분사:SiC 노즐디자인은 균일한 액체 분포를 달성하고 처리 액체가 대상 표면에 고르게 덮이도록 보장할 수 있는 우수한 분무 제어 성능을 가지고 있습니다.
4. 높은 내마모성 : SiC 소재는 경도와 내마모성이 높고 장기간 사용과 마찰을 견딜 수 있습니다.
SiC 샤워 헤드는 반도체 제조, 화학 처리, 표면 코팅, 전기 도금 및 기타 산업 분야의 액체 처리 공정에 널리 사용됩니다. 안정적이고 균일하며 신뢰할 수 있는 분사 효과를 제공하여 가공 및 처리의 품질과 일관성을 보장할 수 있습니다.
주요 특징
1. 고열 산화 저항:
산화 저항은 온도가 1600C만큼 높을 때 여전히 매우 좋습니다.
2. 고순도 : 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
3. 내식성: 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
4. 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
CVD-SIC 코팅 주요 사양
| SiC-CVD 속성 | ||
| 결정 구조 | FCC β상 | |
| 밀도 | g/cm ³ | 3.21 |
| 경도 | 비커스 경도 | 2500 |
| 입자 크기 | μm | 2~10 |
| 화학적 순도 | % | 99.99995 |
| 열용량 | J·kg-1·K-1 | 640 |
| 승화 온도 | ℃ | 2700 |
| 굽힘 강도 | MPa(RT 4점) | 415 |
| 영률 | Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) | 430 |
| 열팽창(CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| 열전도율 | (W/mK) | 300 |
