세미세라SiC 캔틸레버 웨이퍼 패들현대 반도체 제조의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이것웨이퍼 패들고온 환경에서 웨이퍼를 핸들링하는 데 중요한 우수한 기계적 강도와 내열성을 제공합니다.
SiC 캔틸레버 설계로 정밀한 웨이퍼 배치가 가능해 취급 중 손상 위험이 줄어듭니다. 열전도율이 높기 때문에 극한 조건에서도 웨이퍼가 안정적으로 유지되며 이는 생산 효율성을 유지하는 데 중요합니다.
구조적인 장점 외에도 Semicera의SiC 캔틸레버 웨이퍼 패들무게와 내구성 면에서도 장점이 있습니다. 경량 구조 덕분에 기존 시스템을 더 쉽게 다루고 통합할 수 있으며, 고밀도 SiC 소재는 까다로운 조건에서도 오래 지속되는 내구성을 보장합니다.
| 재결정화된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 재산 | 일반적인 값 |
| 작동 온도(°C) | 1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경) |
| SiC 함량 | > 99.96% |
| 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 부피 밀도 | 2.60-2.70g/cm23 |
| 겉보기 다공성 | < 16% |
| 압축 강도 | > 600MPa |
| 냉간 굽힘 강도 | 80-90MPa(20°C) |
| 뜨거운 굽힘 강도 | 90-100MPa(1400°C) |
| 열팽창 @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 열전도도 @1200°C | 23W/m•K |
| 탄성률 | 240GPa |
| 열충격 저항 | 매우 좋음 |
