실리콘 카바이드 웨이퍼 보트

간단한 설명:

세미세라에너지기술(주) 첨단 반도체 세라믹의 선두 공급업체이자 고순도 탄화규소 세라믹(특히재결정화됨 SiC) 및 CVD SiC 코팅. 이 밖에도 알루미나, 질화알루미늄, 지르코니아, 질화규소 등 세라믹 분야에도 주력하고 있다.

 

제품 세부정보

제품 태그

SiC 보트 견인 (3)
SiC 보트 견인 (1)

SiC 제품 특징

고온 및 내부식성으로 웨이퍼 품질 및 생산성 향상

SiC는 탄화규소를 말합니다. 탄화규소(SiC)는 석영사, 코크스 및 기타 원료를 고온로 용해하여 만들어집니다. 현재 산업적으로 생산되는 탄화규소에는 흑색 탄화규소와 녹색 탄화규소의 두 종류가 있습니다. 둘 다 육각형 결정체로 비중은 3.21g/cm3, 미세경도는 2840~3320kg/mm2이다.

최소 70종 이상의 결정질 탄화규소가 3.21g/cm3의 낮은 비중과 고온 강도로 인해 베어링이나 고온로 원료로 적합합니다. 어떤 압력에서도 도달할 수 없으며 화학적 활성이 상당히 낮습니다.

동시에, 많은 사람들은 높은 열 전도성, 높은 분쇄 전기장 강도 및 높은 최대 전류 밀도로 인해 실리콘을 탄화규소로 대체하려고 시도했습니다. 최근에는 반도체 고전력 부품에 응용되고 있다. 실제로 탄화규소 기판의 열전도율은 사파이어 기판보다 10배 이상 높으므로 전도성과 열전도율이 좋은 탄화규소 기판 LED 부품을 사용하면 상대적으로 고출력 LED 생산에 도움이 됩니다.

기술적인 매개변수

그림 1
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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