CVD-SIC 코팅 주요 사양
| SiC-CVD 속성 | ||
| 결정 구조 | FCC β상 | |
| 밀도 | g/cm ³ | 3.21 |
| 경도 | 비커스 경도 | 2500 |
| 입자 크기 | μm | 2~10 |
| 화학적 순도 | % | 99.99995 |
| 열용량 | J·kg-1·K-1 | 640 |
| 승화 온도 | ℃ | 2700 |
| 굽힘 강도 | MPa(RT 4점) | 415 |
| 영률 | Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) | 430 |
| 열팽창(CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| 열전도율 | (W/mK) | 300 |
