솔리드 SiC 포커스 링

Semicera의 Solid SiC 포커스 링은 고급 반도체 제조 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 구성 요소입니다. 고순도 소재로 제작실리콘 카바이드(SiC), 이 초점 링은 반도체 산업, 특히 다음과 같은 광범위한 응용 분야에 이상적입니다.CVD SiC 공정, 플라즈마 에칭 및ICPRIE(유도 결합 플라즈마 반응성 이온 에칭). 탁월한 내마모성, 높은 열 안정성 및 순도로 잘 알려진 이 제품은 스트레스가 심한 환경에서도 오래 지속되는 성능을 보장합니다.

반도체에서는웨이퍼처리 과정에서 Solid SiC 포커스 링은 건식 에칭 및 웨이퍼 에칭 응용 분야에서 정밀한 에칭을 유지하는 데 중요합니다. SiC 포커스 링은 플라즈마 에칭 기계 작동과 같은 공정 중에 플라즈마의 초점을 맞추는 데 도움을 주기 때문에 실리콘 웨이퍼 에칭에 없어서는 안 될 요소입니다. 견고한 SiC 소재는 침식에 대한 탁월한 저항성을 제공하여 장비의 수명을 보장하고 가동 중지 시간을 최소화합니다. 이는 반도체 제조에서 높은 처리량을 유지하는 데 필수적입니다.

Semicera의 Solid SiC 포커스 링은 반도체 산업에서 일반적으로 발생하는 극한의 온도와 공격적인 화학 물질을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 다음과 같은 고정밀 작업에 사용하도록 특별히 제작되었습니다.CVD SiC 코팅, 순도와 내구성이 가장 중요합니다. 열충격에 대한 저항력이 뛰어나 작업 중 고온에 노출되는 등 가장 가혹한 조건에서도 일관되고 안정적인 성능을 보장하는 제품입니다.웨이퍼에칭 공정.