솔리드 SiC 포커스 링

간단한 설명:

Semicera의 SiC 에칭 링은 뛰어난 내구성과 정밀도를 갖춘 고성능 반도체 에칭 응용 분야용으로 설계되었습니다. 고순도 탄화규소(SiC)로 제작된 이 에칭 링은 플라즈마 에칭, 건식 에칭 및 웨이퍼 에칭 공정에 탁월합니다. Semicera의 고급 제조 공정을 통해 이 링은 가장 까다로운 환경에서도 탁월한 내마모성과 열 안정성을 제공합니다. 우리는 중국에서 귀하의 장기적인 파트너가 되기를 기대하고 있습니다.


제품 세부정보

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Semicera의 Solid SiC 포커스 링은 고급 반도체 제조 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 구성 요소입니다. 고순도 소재로 제작실리콘 카바이드(SiC), 이 초점 링은 반도체 산업, 특히 다음과 같은 광범위한 응용 분야에 이상적입니다.CVD SiC 공정, 플라즈마 에칭 및ICPRIE(유도 결합 플라즈마 반응성 이온 에칭). 탁월한 내마모성, 높은 열 안정성 및 순도로 잘 알려진 이 제품은 스트레스가 심한 환경에서도 오래 지속되는 성능을 보장합니다.

반도체에서는웨이퍼처리 과정에서 Solid SiC 포커스 링은 건식 에칭 및 웨이퍼 에칭 응용 분야에서 정밀한 에칭을 유지하는 데 중요합니다. SiC 포커스 링은 플라즈마 에칭 기계 작동과 같은 공정 중에 플라즈마 초점을 맞추는 데 도움을 주기 때문에 실리콘 웨이퍼 에칭에 없어서는 안 될 요소입니다. 견고한 SiC 소재는 침식에 대한 탁월한 저항성을 제공하여 장비의 수명을 보장하고 가동 중지 시간을 최소화합니다. 이는 반도체 제조에서 높은 처리량을 유지하는 데 필수적입니다.

Semicera의 Solid SiC 포커스 링은 반도체 산업에서 일반적으로 발생하는 극한의 온도와 공격적인 화학 물질을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 다음과 같은 고정밀 작업에 사용하도록 특별히 제작되었습니다.CVD SiC 코팅, 순도와 내구성이 가장 중요합니다. 열충격에 대한 저항력이 뛰어나 작업 중 고온에 노출되는 등 가장 가혹한 조건에서도 일관되고 안정적인 성능을 보장하는 제품입니다.웨이퍼에칭 공정.

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정밀도와 신뢰성이 중요한 반도체 응용 분야에서 Solid SiC Focus Ring은 에칭 공정의 전반적인 효율성을 향상시키는 데 중추적인 역할을 합니다. 견고한 고성능 설계 덕분에 극한의 조건에서도 작동하는 고순도 부품이 필요한 산업에 완벽한 선택이 됩니다. 사용 여부CVD SiC 링응용 분야 또는 플라즈마 에칭 공정의 일부로 Semicera의 Solid SiC Focus Ring은 장비 성능을 최적화하여 생산 공정에 필요한 수명과 신뢰성을 제공합니다.

주요 특징:

• 우수한 내마모성과 높은 열 안정성
• 수명 연장을 위한 고순도 고체 SiC 소재
• 플라즈마 에칭, ICP RIE 및 건식 에칭 응용 분야에 이상적입니다.
• 특히 CVD SiC 공정에서 웨이퍼 에칭에 적합합니다.
• 극한 환경과 고온에서도 안정적인 성능
• 실리콘 웨이퍼 에칭의 정밀도와 효율성을 보장합니다.

신청:

• 반도체 제조의 CVD SiC 공정
• 플라즈마 에칭 및 ICP RIE 시스템
• 건식 식각 및 웨이퍼 식각 공정
• 플라즈마 에칭 기계의 에칭 및 증착
• 웨이퍼 링 및 CVD SiC 링용 정밀 부품

사진 109

CVD SiC 표면의 미세한 형태

사진 110

CVD SiC 단면의 미세한 형태

사진 108
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
세미세라웨어하우스
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