고급 탄탈륨 카바이드 코팅이 적용된 SiC 결정 성장 튜브

간단한 설명:

코팅은 고순도, 고온 저항성 및 내화학성을 갖추고 있어 흑연 표면을 마모, 부식 및 산화로부터 효과적으로 보호합니다. 탄탈륨 카바이드 코팅은 소재 표면에 내마모성, 내식성 보호층을 형성하여 탁월한 성능 향상을 제공하는 고성능 표면 코팅 기술입니다.

 


제품 세부정보

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Semicera Semicera는 다양한 부품과 캐리어에 특화된 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 제공합니다.Semicera Semicera의 선도적인 코팅 공정은 탄탈륨 카바이드(TaC) 코팅을 통해 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 제품 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 TaC 서셉터), 주요 원자로 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈륨 카바이드 TaC 코팅을 사용하는 것은 에지 문제를 해결하고 결정 성장 품질을 향상시키는 것이며 Semicera Semicera는 탄탈륨 카바이드 코팅 기술(CVD)을 획기적인 해결하여 국제 선진 수준에 도달했습니다.

수년간의 개발 끝에 Semicera는CVD TaCR&D 부서의 공동 노력으로 SiC 웨이퍼는 성장 과정에서 결함이 발생하기 쉽지만, 사용 후에는TaC, 그 차이는 상당합니다. 아래는 TaC 유무에 따른 웨이퍼와 단결정 성장을 위한 Simicera 부품을 비교한 것입니다.

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TaC 유무에 관계없이

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TaC 사용 후(오른쪽)

게다가 Semicera의TaC 코팅제품비해 수명이 길고 고온 저항이 뛰어납니다.SiC 코팅.실험실 측정 결과에 따르면 우리는TaC 코팅장시간 동안 최대 섭씨 2300도의 온도에서 일관되게 작동할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다.

 
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CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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