Deep UV-LED용 SiC 코팅 서셉터

간단한 설명:

Semicera Energy Technology Co., Ltd.는 첨단 반도체 세라믹 분야의 선두 공급업체입니다. 당사의 주요 제품은 다음과 같습니다: 실리콘 카바이드 에칭 디스크, 실리콘 카바이드 보트 트레일러, 실리콘 카바이드 웨이퍼 선박(PV 및 반도체), 실리콘 카바이드 퍼니스 튜브, 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들, 실리콘 카바이드 척, 실리콘 카바이드 빔, CVD SiC 코팅 및 TaC 코팅.

제품은 주로 결정 성장, 에피택시, 에칭, 패키징, 코팅 및 확산로 장비와 같은 반도체 및 광전지 산업에 사용됩니다.

 

 

 


제품 세부정보

제품 태그

설명

당사는 흑연, 세라믹 및 기타 소재의 표면에 CVD 공법으로 SiC 코팅 공정 서비스를 제공하고 있으며, 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스를 고온에서 반응시켜 고순도의 SiC 분자, 코팅된 소재의 표면에 증착된 분자, SIC 보호층을 형성한다.

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UV-LED-1

UV-LED-2

주요 특징

1. 고온 내산화성: 온도가 1600C만큼 높을 때 내산화성은 여전히 ​​매우 좋습니다.
2. 고순도 : 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착으로 만들어졌습니다.
3. 내식성: 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
4. 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.

CVD-SIC 코팅 주요 사양

SiC-CVD 속성
결정 구조 FCC β상
밀도 g/cm ³ 3.21
경도 비커스 경도 2500
입자 크기 μm 2~10
화학적 순도 % 99.99995
열용량 J·kg-1·K-1 640
승화 온도 2700
굽힘 강도 MPa(RT 4점) 415
영률 Gpa (4pt 굴곡, 1300℃) 430
열팽창(CTE) 10-6K-1 4.5
열전도율 (W/mK) 300
세미세라 작업장
세미세라 작업장 2
장비 기계
CNN 처리, 화학적 세정, CVD 코팅
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