세미세라가 자체 개발한SiC 세라믹 씰 부품현대 반도체 제조의 높은 기준을 충족하도록 설계되었습니다. 이 씰링 부품은 고성능을 사용합니다.탄화규소(SiC)내마모성과 화학적 안정성이 뛰어난 소재로 극한 환경에서도 탁월한 밀봉 성능을 보장합니다. 와 결합산화알루미늄(Al2O3)그리고질화규소(Si3N4), 이 부품은 고온 응용 분야에서 잘 작동하며 가스 및 액체 누출을 효과적으로 방지할 수 있습니다.
등의 장비와 함께 사용하는 경우웨이퍼 보트웨이퍼 캐리어, Semicera'sSiC 세라믹 씰 부품전체 시스템의 효율성과 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 뛰어난 내열성과 내식성을 갖추고 있어 고정밀 반도체 제조에 없어서는 안 될 부품으로, 생산 과정에서 안정성과 안전성을 보장합니다.
또한, 이 씰링 부품의 디자인은 다양한 장비와의 호환성을 보장하도록 세심하게 최적화되어 다양한 생산 라인에서 쉽게 사용할 수 있습니다. Semicera의 R&D팀은 업계에서 자사 제품의 경쟁력을 보장하기 위해 기술 혁신을 촉진하기 위해 계속해서 열심히 노력하고 있습니다.
세미세라를 선택하세요SiC 세라믹 씰 부품, 높은 성능과 신뢰성이 결합되어 보다 효율적인 생산 프로세스와 우수한 제품 품질을 달성하는 데 도움이 됩니다. Semicera는 업계의 지속적인 발전과 발전을 촉진하기 위해 항상 고객에게 최고의 반도체 솔루션과 서비스를 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
✓중국 시장 최고 품질
✓항상 좋은 서비스, 7*24시간
✓짧은 배송일
✓소규모 MOQ 환영 및 허용
✓맞춤 서비스
에피택시 성장 서셉터
실리콘/탄화규소 웨이퍼는 전자 장치에 사용되기 위해 여러 공정을 거쳐야 합니다. 중요한 공정은 실리콘/sic 웨이퍼가 흑연 베이스 위에 운반되는 실리콘/sic 에피택시입니다. Semicera의 탄화규소 코팅 흑연 베이스의 특별한 장점은 매우 높은 순도, 균일한 코팅 및 매우 긴 서비스 수명을 포함합니다. 또한 내화학성과 열 안정성이 높습니다.
LED 칩 생산
MOCVD 반응기의 광범위한 코팅 동안 유성 베이스 또는 캐리어는 기판 웨이퍼를 이동시킵니다. 모재의 성능은 코팅 품질에 큰 영향을 미치며, 이는 결국 칩의 폐기율에도 영향을 미칩니다. Semicera의 탄화규소 코팅 베이스는 고품질 LED 웨이퍼의 제조 효율성을 높이고 파장 편차를 최소화합니다. 또한 현재 사용 중인 모든 MOCVD 반응기에 추가 흑연 구성 요소를 공급합니다. 탄화규소 코팅으로 거의 모든 부품을 코팅할 수 있습니다. 부품 직경이 최대 1.5M인 경우에도 탄화규소로 코팅할 수 있습니다.
반도체분야, 산화확산공정, 등.
반도체 공정에서 산화 팽창 공정은 높은 제품 순도를 요구하며, Semicera에서는 대부분의 탄화규소 부품에 대해 맞춤형 및 CVD 코팅 서비스를 제공합니다.
다음 사진은 Semicea의 거칠게 가공된 탄화규소 슬러리와 100에서 세척된 탄화규소 용광로 튜브를 보여줍니다.0-수준먼지가 없는방. 저희 작업자들은 코팅 전 작업을 하고 있습니다. 탄화규소의 순도는 99.99%에 도달할 수 있으며, SiC 코팅의 순도는 99.99995% 이상입니다..
Cleaing의 원시 탄화 규소 패들 및 SiC 공정 튜브
실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 CVD SiC 코팅
