반도체 탄화규소 웨이퍼 보트

간단한 설명:

Weitai SiC 부품 제품은 높은 내산화성, 화학적 안정성, 내열성을 갖고 있으며 2000도에서도 안정성이 뛰어난 특성을 갖고 있습니다.반도체 소재 제조 공정에 필요한 실리콘 웨이퍼를 대체하는 웨이퍼 보트, 튜브, 시뮬레이션 웨이퍼 등에 널리 사용되며, 고온에서 사용되는 픽스쳐 제품에도 널리 사용된다.반도체 생산 장비, 자동차 분야, 에너지 분야 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다.


제품 상세 정보

제품 태그

탄화 규소는 높은 비용 성능과 우수한 재료 특성을 갖춘 새로운 유형의 세라믹입니다.높은 강도와 ​​경도, 고온 저항성, 우수한 열 전도성 및 화학적 내식성과 같은 기능으로 인해 탄화규소는 거의 모든 화학적 매체를 견딜 수 있습니다.따라서 SiC는 석유 채굴, 화학, 기계 및 영공 분야에서 널리 사용되며 원자력 에너지 및 군대에서도 SIC에 대한 특별한 요구 사항이 있습니다.우리가 제공할 수 있는 일반적인 용도로는 펌프, 밸브, 보호 갑옷 등을 위한 씰 링이 있습니다.

우리는 좋은 품질과 합리적인 배송 시간으로 귀하의 특정 치수에 따라 설계하고 제조할 수 있습니다.

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A장점:

고온 내산화성

우수한 내식성

좋은 마모 저항

높은 열전도율
자기 윤활성, 저밀도
높은 경도
맞춤형 디자인.

 

신청:

- 내마모성 분야 : 부싱, 플레이트, 샌드 블라스팅 노즐, 사이클론 라이닝, 그라인딩 배럴 등

-고온 현장: SiC 슬래브, 담금질로 튜브, 복사 튜브, 도가니, 가열 요소, 롤러, 빔, 열 교환기, 냉기 파이프, 버너 노즐, 열전대 보호 튜브, SiC 보트, 가마 자동차 구조, 세터 등.

-군사방탄분야

- 실리콘 카바이드 반도체: SiC 웨이퍼 보트, SiC 척, SiC 패들, SiC 카세트, SiC 확산 튜브, 웨이퍼 포크, 흡입 플레이트, 가이드웨이 등.

- 실리콘 카바이드 씰 분야: 모든 종류의 씰링 링, 베어링, 부싱 등

- 태양광 분야: 캔틸레버 패들, 그라인딩 배럴, 실리콘 카바이드 롤러 등

-리튬전지 분야

기술적인 매개변수:

그림 2

재료 데이터시트

材料재료

R-SiC

사용온도작동 온도 (°C)

1600°C (기화기(氧化气氛)산화 환경)

1700°C (还气氛환경 감소)

SiCSiC 함량(%)

> 99

자작자유 Si 함량(%)

< 0.1

체감도부피밀도(g/cm3)

2.60-2.70

气孔率겉보기 다공성(%)

< 16

抗压强도분쇄강도(MPa)

> 600

常温抗弯强degree냉간 굽힘 강도(MPa)

80-90 (20°C)

고온발효도열간 굽힘 강도(MPa)

90-100 (1400°C)

热膨胀系数

열팽창 계수 @1500°C(10-6/°C)

4.70

导熭系数열전도도 @1200°C(W/mK)

23

杨氏模량탄성률(GPa)

240

抗熱震性열충격 저항

很好매우 좋은

사진_202307131713033

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