세미세라제공하게 된 것을 기쁘게 생각합니다.PFA 카세트, 내화학성과 내구성이 가장 중요한 환경에서 웨이퍼 핸들링을 위한 프리미엄 선택입니다. 고순도 퍼플루오로알콕시(PFA) 소재로 제작된 이 카세트는 반도체 제조의 가장 까다로운 조건을 견딜 수 있도록 설계되어 웨이퍼의 안전성과 무결성을 보장합니다.
비교할 수 없는 내화학성그만큼PFA 카세트광범위한 화학물질에 대한 탁월한 내성을 제공하도록 설계되어 공격적인 산, 용제 및 기타 가혹한 화학물질을 포함하는 공정에 완벽한 선택입니다. 이러한 강력한 내화학성은 가장 부식성이 강한 환경에서도 카세트가 손상되지 않고 기능을 유지하도록 보장하여 수명을 연장하고 빈번한 교체 필요성을 줄입니다.
고순도 건설세미세라의PFA 카세트웨이퍼 가공 중 오염을 방지하는 데 중요한 초순수 PFA 소재로 제조됩니다. 이 고순도 구조는 입자 생성 및 화학적 침출 위험을 최소화하여 품질을 저하시킬 수 있는 불순물로부터 웨이퍼를 보호합니다.
향상된 내구성과 성능내구성을 고려하여 설계되었으며,PFA 카세트극한의 온도와 엄격한 가공 조건에서도 구조적 무결성을 유지합니다. 고온에 노출되거나 반복적으로 취급되더라도 이 카세트는 모양과 성능을 유지하여 까다로운 제조 환경에서도 장기적인 신뢰성을 제공합니다.
안전한 취급을 위한 정밀 엔지니어링그만큼Semicera PFA 카세트안전하고 안정적인 웨이퍼 핸들링을 보장하는 정밀 엔지니어링이 특징입니다. 각 슬롯은 웨이퍼를 제자리에 단단히 고정하여 손상을 초래할 수 있는 움직임이나 이동을 방지하도록 세심하게 설계되었습니다. 이러한 정밀 엔지니어링은 일관되고 정확한 웨이퍼 배치를 지원하여 전체 프로세스 효율성에 기여합니다.
프로세스 전반에 걸쳐 다양한 적용 가능우수한 소재 특성으로 인해PFA 카세트다양한 반도체 제조 단계에서 사용할 수 있을 만큼 다재다능합니다. 특히 습식 에칭, 화학 기상 증착(CVD) 및 혹독한 화학적 환경을 수반하는 기타 공정에 적합합니다. 적응성이 뛰어나 프로세스 무결성과 웨이퍼 품질을 유지하는 데 필수적인 도구입니다.
품질과 혁신에 대한 약속Semicera는 최고의 산업 표준을 충족하는 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 그만큼PFA 카세트제조 공정에 완벽하게 통합되는 안정적인 솔루션을 제공함으로써 이러한 약속을 잘 보여줍니다. 각 카세트는 당사의 엄격한 성능 기준을 충족하도록 엄격한 품질 관리를 거쳐 Semicera에서 기대하는 우수성을 제공합니다.
| 품목 | 생산 | 연구 | 더미 |
| 크리스탈 매개변수 | |||
| 폴리타입 | 4H | ||
| 표면 방향 오류 | <11-20 >4±0.15° | ||
| 전기적 매개변수 | |||
| 도펀트 | n형 질소 | ||
| 비저항 | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| 기계적 매개변수 | |||
| 지름 | 150.0±0.2mm | ||
| 두께 | 350±25μm | ||
| 기본 평면 방향 | [1-100]±5° | ||
| 기본 평면 길이 | 47.5±1.5mm | ||
| 2차 아파트 | 없음 | ||
| TTV | 5μm 이하 | 10μm 이하 | 15μm 이하 |
| LTV | ≤3μm(5mm*5mm) | ≤5μm(5mm*5mm) | 10μm 이하(5mm*5mm) |
| 절하다 | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| 경사 | ≤35μm | 45μm 이하 | ≤55μm |
| 전면(Si-face) 거칠기(AFM) | Ra≤0.2nm(5μm*5μm) | ||
| 구조 | |||
| 마이크로파이프 밀도 | <1개/cm2 | <10개/cm2 | <15개/cm2 |
| 금속 불순물 | ≤5E10원자/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500개/cm2 | ≤3000개/cm2 | NA |
| 티에스디 | ≤500개/cm2 | ≤1000개/cm2 | NA |
| 전면 품질 | |||
| 앞쪽 | Si | ||
| 표면 마무리 | Si-페이스 CMP | ||
| 입자 | ≤60개/웨이퍼(크기≥0.3μm) | NA | |
| 긁힌 자국 | ≤5ea/mm. 누적 길이 ≤직경 | 누적 길이≤2*직경 | NA |
| 오렌지 껍질/구덩이/얼룩/줄무늬/균열/오염 | 없음 | NA | |
| 가장자리 칩/압흔/파손/육각 플레이트 | 없음 | ||
| 다형 영역 | 없음 | 누적 면적 ≤20% | 누적 면적 ≤30% |
| 전면 레이저 마킹 | 없음 | ||
| 뒷면 품질 | |||
| 백마무리 | C-페이스 CMP | ||
| 긁힌 자국 | ≤5ea/mm, 누적 길이≤2*직경 | NA | |
| 뒷면 결함(가장자리 칩/압흔) | 없음 | ||
| 뒷면 거칠기 | Ra≤0.2nm(5μm*5μm) | ||
| 후면 레이저 마킹 | 1mm(상단 가장자리부터) | ||
| 가장자리 | |||
| 가장자리 | 모따기 | ||
| 포장 | |||
| 포장 | 진공 포장으로 Epi 준비 완료 다중 웨이퍼 카세트 포장 | ||
| *참고: "NA"는 요청 없음을 의미합니다. 언급되지 않은 항목은 SEMI-STD를 참조할 수 있습니다. | |||
