웨이퍼캐리어 도입
제품 카테고리
▶PECVD 및 TALOX 공정용 웨이퍼 캐리어 시스템
• PECVD 및 TALOX 흑연 보트(M4~M12)
• 수직 SM-보트(M4, M6)
• 임플란트 및 샤워기 흑연부 (M4~M6)
• C/C 트레이 및 세라믹 코팅
• 금속 RIE 트레이 및 세라믹 코팅
• 진공 씰링 : O-Ring & SQ-Ring
▶텍스처링 및 습식 에칭 전사 공정
• LSC H-캐리어 또는 카세트(M4~M12)
• LSC V-캐리어 또는 카세트(M4~M12)
• ASC 캐리어 또는 카세트(M4, M6)
• W/F 캐리어 및 보관함(M4~M12)
• 운송휠(롤러) 시리즈
▶태양전지 캐리어 및 금속 캐리어
• TRC 캐리어 또는 카세트(M4~M12)
• 잡지(BELT 포함)
흑연 보트(H형)
19P6-216CT (WF M4~M12)
흑연 보트(H형)
21P6-240CT WF M4~M12)
흑연 보트(H형)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
흑연 보트(H형)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
흑연 보트(H형)
W182-22P7-294CT(W/F M12)
W182-21P6-240CT(W/F M12)
WF 캐리어 및 보관함(~M12)
C/C 트레이 또는 캐리어(M4~M10)
C/C 트레이 또는 캐리어(M4~M10)
수직 보트 (SM) M6
LSC-H-캐리어(~M12)
LSC-V-캐리어(~M12)
ASC 캐리어(~M6)
TRC 캐리어(~M12)
TRC 캐리어(~M12)
흑연보트(M12)
PECVD 공정용 웨이퍼 캐리어 시스템
▶ GRAPHITE BOAT (CT 설계) M10/M12 공정
• 특별한 디자인 컨셉
▶ GRAPHITE BOAT (CT 설계) M4/M6 공정
▶ BOAT 액세서리 부품
▶ 수직 보트 - 161.7mm WAFER
▶ 수직 보트 - 166mm WAFER
▶ 수직 보트 - 161.7mm, 166mm WAFER
태양전지 캐리어 및 금속 TRC 캐리어
유형 : 자동화
웨이퍼 크기 : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
사용법: 운반(카세트)
용량 : 100매
피치 : 4.76MM/5.953mm/6.35mm
크기 : 약 559×220×220MM
약 712×260×260MM
장점 : 분위기
재질 : FLAME, SIDE BAR-알루미늄(아노다이징)
SIDE PLATE-POM(정전방지)
하단바 커버-EPDM/PU/VITON(ASE)
TRC-METAL CARRIER(U'SER 라인)
TRC-METAL CARRIER(U'SER 라인)
TRC-METAL CARRIER(U'SER 라인)
샤워 플레이트 및 임플란트, 캐리어
