빠르게 발전하는 반도체 제조 분야에서는 높은 수율과 품질을 달성하기 위해서는 장비의 정밀도와 내구성이 무엇보다 중요합니다. 이를 보장하는 핵심 구성 요소 중 하나는 다음과 같은 공정의 효율성을 향상시키도록 설계된 SiC 코팅 휠 기어입니다.Si 에피택시그리고SiC 에피택시. Semicera는 현대 반도체 생산의 까다로운 요구 사항을 충족하고 뛰어난 내마모성과 열 안정성을 제공하는 고급 SiC 코팅 휠 기어 개발을 전문으로 합니다.
SiC 코팅 휠 기어는 기판의 원활한 이동과 정밀한 제어를 보장하는 에피택셜 성장에 사용되는 장비에서 중요한 역할을 합니다. 이 기어는탄화규소 코팅, 향상된 내구성과 내식성을 제공하므로 고온 및 공격적인 화학 물질이 포함된 환경에 이상적입니다. 이는 특히 다음을 활용하는 프로세스에서 중요합니다.MOCVD 서셉터, 재료 증착에는 안정적이고 신뢰할 수 있는 지원이 필요합니다.
그 기능 외에도Si 에피택시그리고SiC 에피택시, Semicera의 SiC 코팅 휠 기어는 다른 반도체 응용 분야에도 필수적입니다. 예를 들어, 이들은 다음과 같은 시스템에 통합됩니다.PSS 에칭 캐리어균일하고 고품질의 LED 웨이퍼를 생산하는데 필수적인 입니다. 높은 정밀도와 강도로 인해 다음 작업에도 적합합니다.ICP 에칭 캐리어이온 에칭 공정에서는 정확한 허용 오차가 매우 중요합니다. 또한, 빠른 열 전이를 견딜 수 있는 능력으로 인해 반도체 어닐링에 사용되는 RTP 캐리어에 매우 효과적입니다.
SiC 코팅 휠 기어의 또 다른 중요한 응용 분야는 LED 에피택셜 서셉터의 제조입니다. LED 에피택시 서셉터의 내구성과 내열성은 고온 작동 중에 서셉터의 무결성을 유지하는 데 도움이 됩니다. 이는 LED 웨이퍼 생산의 처리량과 신뢰성을 높여줍니다.
Semicera의 고급 SiC 코팅 휠 기어를 통합함으로써 제조업체는 반도체 제조 공정에서 성능 향상, 가동 중지 시간 감소 및 효율성 향상을 달성할 수 있습니다. Si 에피택시, SiC 에피택시 또는 MOCVD 서셉터 처리 여부에 관계없이 이러한 기어는 반도체 산업의 높은 요구 사항을 충족하는 데 필요한 탄력성과 정밀도를 제공합니다.
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게시 시간: 2024년 9월 24일