반도체 산업은 특히 반도체 분야에서 유례없는 성장을 보이고 있습니다.탄화규소(SiC)전력 전자.많은 대규모로웨이퍼전기 자동차의 SiC 장치에 대한 급증하는 수요를 충족하기 위해 팹을 건설하거나 확장하고 있는 상황에서 이러한 호황은 이익 성장을 위한 놀라운 기회를 제공합니다.그러나 이는 또한 혁신적인 솔루션을 요구하는 고유한 과제를 야기합니다.
글로벌 SiC 칩 생산량 증가의 중심에는 고품질 SiC 결정, 웨이퍼 및 에피택셜 레이어 제조가 있습니다.여기,반도체급 흑연재료는 SiC 결정 성장과 SiC 에피택셜 층의 증착을 촉진하는 중추적인 역할을 합니다.흑연은 단열성과 불활성으로 인해 선호되는 재료로, 결정 성장 및 에피택시 시스템 내의 도가니, 받침대, 행성 디스크 및 위성에 광범위하게 사용됩니다.그럼에도 불구하고, 가혹한 공정 조건은 흑연 구성 요소의 급속한 저하로 이어지며 결과적으로 고품질 SiC 결정 및 에피택셜 층의 생산을 방해하는 중요한 과제를 제기합니다.
탄화규소 결정의 생산에는 2000°C를 초과하는 온도와 부식성이 강한 가스 물질을 포함하여 매우 가혹한 공정 조건이 수반됩니다.이로 인해 여러 공정 주기 후에 흑연 도가니가 완전히 부식되어 생산 비용이 상승하는 경우가 많습니다.또한 가혹한 조건은 흑연 부품의 표면 특성을 변경하여 생산 공정의 반복성과 안정성을 손상시킵니다.
이러한 과제를 효과적으로 해결하기 위해 보호 코팅 기술이 판도를 바꾸는 기술로 등장했습니다.다음을 기반으로 하는 보호 코팅탄탈륨 카바이드(TaC)흑연 부품 품질 저하 및 흑연 공급 부족 문제를 해결하기 위해 도입되었습니다.TaC 소재는 3800°C가 넘는 용융 온도와 탁월한 내화학성을 나타냅니다.화학기상증착(CVD) 기술을 활용해TaC 코팅최대 35mm 두께의 재료를 흑연 구성 요소에 원활하게 증착할 수 있습니다.이 보호층은 재료 안정성을 향상시킬 뿐만 아니라 흑연 부품의 수명을 크게 연장시켜 결과적으로 생산 비용을 절감하고 운영 효율성을 향상시킵니다.
최고의 공급업체인 SemiceraTaC 코팅, 반도체 산업 혁명에 중요한 역할을 해왔습니다.최첨단 기술과 품질에 대한 확고한 의지를 통해 Semicera는 반도체 제조업체가 중요한 과제를 극복하고 새로운 차원의 성공을 달성할 수 있도록 지원했습니다.비교할 수 없는 성능과 신뢰성을 갖춘 TaC 코팅을 제공함으로써 Semicera는 전 세계 반도체 회사의 신뢰할 수 있는 파트너로서의 입지를 확고히 했습니다.
결론적으로, 다음과 같은 혁신을 바탕으로 보호 코팅 기술을 개발했습니다.TaC 코팅Semicera의 는 반도체 환경을 재편하고 보다 효율적이고 지속 가능한 미래를 위한 길을 닦고 있습니다.
게시 시간: 2024년 5월 16일