반도체 제조에 사용되는 박막에는 모두 저항이 있는데, 필름 저항은 소자 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 우리는 일반적으로 필름의 절대 저항을 측정하지 않지만 시트 저항을 사용하여 필름을 특성화합니다.
시트 저항과 체적 저항률이란 무엇입니까?
체적 저항률이라고도 알려진 체적 저항률은 물질이 전류 흐름을 얼마나 방해하는지를 나타내는 물질의 고유한 특성입니다. 일반적으로 사용되는 기호 ρ는 단위는 Ω입니다.
시트 저항(Sheet resistance)은 시트 저항이라고도 알려져 있으며 영어 이름은 시트 저항(sheet resistance)으로 단위 면적당 필름의 저항 값을 나타냅니다. 일반적으로 사용되는 기호 Rs 또는 ρs를 표현하며 단위는 Ω/sq 또는 Ω/□입니다.
둘 사이의 관계는 시트 저항 = 체적 저항률/필름 두께, 즉 Rs =ρ/t입니다.
시트 저항을 측정하는 이유는 무엇입니까?
필름의 절대 저항을 측정하려면 필름의 기하학적 치수(길이, 너비, 두께)에 대한 정확한 지식이 필요합니다. 이는 변수가 많고 매우 얇거나 모양이 불규칙한 필름의 경우 매우 복잡합니다. 시트 저항은 필름의 두께에만 관련되며 복잡한 크기 계산 없이 신속하고 직접적으로 테스트할 수 있습니다.
면저항을 측정해야 하는 필름은 무엇입니까?
일반적으로 전도성 필름과 반도체 필름은 제곱 저항을 측정해야 하지만, 절연 필름은 측정할 필요가 없습니다.
반도체 도핑에서는 실리콘의 시트 저항도 측정됩니다.
제곱 저항을 측정하는 방법은 무엇입니까?
4-프로브 방법은 일반적으로 업계에서 사용됩니다. 4-프로브 방법은 1E-3 ~ 1E+9Ω/sq 범위의 제곱 저항을 측정할 수 있습니다. 4-프로브 방법은 프로브와 시료 사이의 접촉 저항으로 인한 측정 오류를 피할 수 있습니다.
측정 방법:
1) 시료 표면에 선형으로 배열된 4개의 프로브를 설정합니다.
2) 두 개의 외부 프로브 사이에 정전류를 적용합니다.
3) 두 개의 내부 프로브 사이의 전위차를 측정하여 저항을 결정합니다.
RS : 면저항
ΔV: 내부 프로브 간 측정된 전압 변화
I : 외부 프로브 사이에 인가되는 전류
게시 시간: 2024년 3월 29일