장점
고온 내산화성
우수한 내식성
좋은 마모 저항
높은 열전도율
자기 윤활성, 저밀도
높은 경도
맞춤형 디자인.
응용
- 내마모성 분야 : 부싱, 플레이트, 샌드 블라스팅 노즐, 사이클론 라이닝, 그라인딩 배럴 등
-고온 현장: SiC 슬래브, 담금질로 튜브, 복사 튜브, 도가니, 가열 요소, 롤러, 빔, 열 교환기, 냉기 파이프, 버너 노즐, 열전대 보호 튜브, SiC 보트, 가마 자동차 구조, 세터 등.
- 실리콘 카바이드 반도체: SiC 웨이퍼 보트, SiC 척, SiC 패들, SiC 카세트, SiC 확산 튜브, 웨이퍼 포크, 흡입 플레이트, 가이드웨이 등.
- 실리콘 카바이드 씰 분야: 모든 종류의 씰링 링, 베어링, 부싱 등
-태양광 분야: 캔틸레버 패들, 그라인딩 배럴, 실리콘 카바이드 롤러 등
-리튬전지 분야
SiC의 물리적 특성
| 재산 | 값 | 방법 |
| 밀도 | 3.21g/cc | 싱크 플로트 및 치수 |
| 비열 | 0.66J/g°K | 펄스 레이저 플래시 |
| 굴곡강도 | 450MPa560MPa | 4포인트 벤드, RT4 포인트 벤드, 1300° |
| 파괴 인성 | 2.94MPa·m1/2 | 미세압입 |
| 경도 | 2800 | 비커스, 500g 로드 |
| 탄성률Young's Modulus | 450GPa430GPa | 4포인트 벤드, RT4포인트 벤드, 1300°C |
| 입자 크기 | 2~10μm | SEM |
SiC의 열적 특성
| 열전도율 | 250W/m°K | 레이저 플래시 방식, RT |
| 열팽창(CTE) | 4.5 x 10-6°K | 실온 ~ 950°C, 실리카 팽창계 |
기술적인 매개변수
| 목 | 단위 | 데이터 | ||||
| RBSiC(SiSiC) | NBSiC | SSiC | RSiC | OSiC | ||
| SiC 함량 | % | 85 | 75 | 99 | 99.9 | ≥99 |
| 무료 실리콘 함량 | % | 15 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 최대 서비스 온도 | ℃ | 1380 | 1450 | 1650년 | 1620 | 1400 |
| 밀도 | g/cm3 | 3.02 | 2.75-2.85 | 3.08-3.16 | 2.65-2.75 | 2.75-2.85 |
| 개방형 다공성 | % | 0 | 13-15 | 0 | 15-18 | 7-8 |
| 굴곡강도 20℃ | Мpa | 250 | 160 | 380 | 100 | / |
| 굴곡강도 1200℃ | Мpa | 280 | 180 | 400 | 120 | / |
| 탄성률 20℃ | 평점 | 330 | 580 | 420 | 240 | / |
| 탄성률 1200℃ | 평점 | 300 | / | / | 200 | / |
| 열전도율 1200℃ | W/mK | 45 | 19.6 | 100-120 | 36.6 | / |
| 열팽창 계수 | K-1X10-6 | 4.5 | 4.7 | 4.1 | 4.69 | / |
| HV | kg/m3m2 | 2115 | / | 2800 | / | / |
재결정 탄화규소 세라믹 제품 외부 표면의 CVD 탄화규소 코팅은 99.9999% 이상의 순도에 도달하여 반도체 산업 고객의 요구를 충족시킬 수 있습니다.
